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FlatMaster用リファレンスフラットのご紹介 
 
発行：エスオーエル株式会社 
https://www.sol-j.co.jp/ 
 
連載「知って得する干渉計測定技術！」 
2017年11月29日号　VOL.134 
 
平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 
干渉計による精密測定やアプリケーション例などをテーマに、 
無料にてメールマガジンとして配信いたします。 
 
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こんにちは。エスオーエルの落合です。 
 
 
今日は、当社で提供する 
Corning Tropel社製平面度測定機FlatMaster用 
リファレンスフラットについてご紹介したいと思います。 
 
 
リファレンスフラットとは、より高精度な平面度測定を実現するために、 
ゼロ平面を補正する原器です。 
 
 
剛性が高い低膨張ガラス（熱膨張率：-0.2×10^-6/K）でできており、 
平面度が0.08μm以下のとにかくすごく平らな面をもつガラス板です。 
 
 
リファレンスフラットの平面度はすごく小さいので、平面度ゼロとして扱います。 
平面度測定機（干渉計）の光学系にエラーがないとすれば、 
リファレンスフラットを測定すると平面度は約ゼロとなるはずです。 
 
 
しかし、実際には干渉計は光学エラーを0.3μm以下程度持っています。 
その為、リファレンスフラット(ゼロ平面)を測定すると 
約0.3μm以下の平面形状があるように解析されます。 
これは干渉計装置の光学エラーを測定したことになります。 
この測定データを保存しておき、測定サンプルの測定結果から差し引けば、 
光学エラーのない最終的な測定結果を取得できます。 
 
 
実際にはリファレンスフラットはゼロ平面ではないので、 
光学エラーによる影響をゼロに出来るわけではありませんが、 
干渉計装置の持っている光学エラーを 
リファレンスフラット（0.08μm以下）の平面度まで 
補正することができるということです！ 
 
 
例えば、平面度0.5μmのサンプル測定するときに、 
0.3μmの光学エラーが存在した場合、 
測定結果は約0.5＋0.3μmと出てしまいます。 
 
一方で、リファレンスフラットを導入した場合、 
光学エラーは最大でも0.08μmですので、 
測定結果は約0.5±0.08μmの結果が得られます。 
 
 
1μm以下の平面度を測定する場合には光学エラーの影響の割合が大きいため、 
リファレンスフラットを使用して頂くことをお勧めしています。 
 
 
Corning Tropel社製リファレンスフラットには、 
他にはないアピールポイントがございます。 
ISOの計測機に関する要求を満たしており、 
NIST認証を受けた校正用測定機で校正を行っています。 
トレーサビリティが明確ですので、確かな信頼性のある測定値が得られます。 
 
 
より高精度、高品質が求められる昨今において、 
導入されるお客様も増えてきました。 
 
 
平面度測定機をお選びの際には 
是非当社にご相談ください。 
 
 
以上、今日はリファレンスフラットのご紹介でした。 
 
 
 
・・・ところで、実は今回のメルマガは 
当初「なみきごと」の配信が予定されていたのですが、変更となりました。 
ちょっとがっかりした皆様、ごめんなさい。 
次回、「なみきごと」を楽しみにされて下さい。 
 
 
最後までお読み頂き、ありがとうございました。 


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落合