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FlatMaster-MSPの測定精度 
 
発行：エスオーエル株式会社 
https://www.sol-j.co.jp/ 
 
連載「知って得する干渉計測定技術！」 
2017年3月29日号　VOL.125 
 
平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 
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こんにちは。 
 
寒かったり、暖かかったり、人間も桜も大変ですね。 
 
桜はいつ見れるのでしょうか?? 
 
 
私は少し前に実家へ帰った時、風邪を移されました。 
 
家族全員風邪をひいたらしいです。 
 
皆さんは気を付けて下さいね。 
 
 
 
 
今回はFlatMaster-MSPの測定精度についてお話します。 
 
MSPは高さ(段差)測定が可能な干渉計です。 
 
前にもお話していると思いますが、 
もちろん平面度や平行度も測定出来ます。 
 
 
 
凄いのは測定精度です。 
 
測定精度は約6.5㎜のキャリブレーションデバイスの高さを 
置き直し無しで25回測定して、 
 
①測定精度：(25回の測定値の平均)-(NISTの認証値)＝0.25um 
 
②繰り返し精度：25回の測定値のバラツキ(1σ)＝0.1um 
 
です!! 
 
 
 
干渉計ですので、①、②の値だけをみてビックリする 
ということはないかも知れませんが、 
 
通常干渉計で測定出来る高さは平面度のようなレベルです。 
 
弊社で扱っている平面度測定機FlatMasterであれば、 
数百ミクロン程度です。 
 
 
6.5mmという大きな高さに対して、 
①、②のような高精度保証が出来るのは世界でもMSPだけです!!!! 
 
 
つくづく凄い装置を使っているな、、、、と実感しました。 
(装置に使われている可能性が高いですが、、悲) 
 
 
 
高さ(段差）を高精度で測定したい！！ 
と考えておられる方がいらっしゃいましたら是非ご相談ください。 
 
 
お役に立てますと嬉しいです!!! 
 
短いですが、ありがとうございました。 


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野中