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SORIと曲率半径

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術！」
2014年7月23日号　VOL.084

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今月は【SORIと曲率半径】

以前、お客様から
『どれくらいの曲率半径のウェーハだったら形状測定できるの？』
と聞かれたことがあります。

むむ・・・計算できない（汗)すぐには回答できず。
ということで今回計算してしまいます。

まず、ウェーハがきれいなお椀形状であると仮定します。
弊社平面度測定機FlatMasterはφ200mmのウェーハで約200umの
SORIが測定データがデータ欠落なく見える限界です。

曲率半径をR、ウェーハの高低差をd、ウェーハの半径をrとします。
三平方の定理を使うと、
R^2=r^2+(R-d)^2　―①

になります！想像できなければ、ニュートン・リングの図を
想像していただければわかりやすいと思います♪
①の式を展開していくと、
R=(r^2+d^2)/2d　―②
となります。
Rに対してdはかなり小さいですが、今回は数値を入れてみましょう！

d=0.200mm、r=100mmを②式に代入すると、
R=25000.1mm ⇒ 25m！！！

25mって想像しているより大きかったです。
確かにφ200mmもあって高低差が200umしかなかったら、
曲率半径は大きくなりますよね（汗）

25mを曲率半径の目安にして頂ければと思います。


今回もすぐに終わってしまいました。
暑いので、今月はこの辺で・・・

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でお届けします。（変更あります）

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F.N