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2014.02.26

D-0079. 干渉の条件 番外編②~時間コヒーレンス~ — FN

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干渉の条件 番外編②~時間コヒーレンス~

発行:エスオーエル株式会社
http://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術!」
2014年2月26日号 VOL.079

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。

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皆様こんにちは。

(( メルマガ登録会員の皆さまは、エスオーエル名物「○○○ごと」をご覧頂けます! ))


先月に引き続き【干渉の条件 番外編②~時間コヒーレンス~】です。

先月のメルマガで空間コヒーレンスについてお話しました♪
先月は我ながら長文であったので、今回は短くいきます(笑)

干渉の条件の第2に『時間コヒーレンスを短くすること』と記載しました。
時間コヒーレンスが長いと少しあとに入ってきた波の光と干渉を起こして
しまうし、逆に短すぎても再度光が重ならなければ干渉は起こりません。

では、最低どれくらいコヒーレンス長が干渉が起こるのでしょうか???
干渉縞の濃淡は、サンプルからの反射光の参照平面との交点の位相と、
参照平面からの反射光へ垂線を伸ばした時の交点の位相の足し合わせで
決まります。

ということは、レーザー光が
①参照平面からサンプルに到達、さらにサンプル表面で反射し参照平面に
辿り着くまでの光路長が最低限必要なコヒーレンス長となります。
もちろん、②参照平面から参照平面からの反射光へ垂線を伸ばした時の
交点までの光路長分も考慮しなければなりません。
しかし①の方が長いので、最低限必要なのは①の距離となります!


一番空間コヒーレンスが厳しい条件の時のコヒーレンス長以上であれば
干渉が起こります。
UltraFlatとFlatMasterの最低限必要な①の光路長はどのくらいでしょうか?
参照平面からサンプルに到達するまでの光路長をrとすると、

●UltraFlatの場合
基板と参照平面の間隔が10mmの時、空間コヒーレンスが一番厳しい条件に
なるので、三角関数を使うと、
r=10/cosθ (θ=38°)となり、r=12.69mmとなります。
rの2倍がコヒーレンス長となりますので①の光路長は25.380mmとなります!

●FlatMasterの場合
基板と参照平面の間隔が2.0mmの時、空間コヒーレンスが一番厳しい条件に
なるので上記と同様に計算すると、
①の光路長はS=1.5um/frで18.959mm、S=8.0um/frで20.109mmとなります!

意外と長いんですね。。。

D-0078. 干渉の条件 番外編①~空間コヒーレンス~
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前回のメルマガを読んでいただければ、はしょっている箇所がわかります♪

前回のメルマガからいえることは、サンプルと参照平面の間隔が離れすぎても、
コヒーレンス長が短すぎても干渉はおこらないんです!

干渉が起きることは、いろいろな条件を満たしていないといけないんですね。



 今回も最後まで弊社メールマガジンを読んでくださった方々、
 本当にありがとうございます!
 今後も、メルマガを配信します♪ 楽しみにし下さいね☆★
 次回のメールマガジンにてお会いしましょう!


--
F.N

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