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干渉計の種類

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術！」
2013年11月30日号　VOL.076

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。

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皆様こんにちは。

(( メルマガ登録会員の皆さまは、エスオーエル名物「○○○ごと」をご覧頂けます！ ))


いつもは、メルマガの最後に展示会出店のお知らせをしておりますが、
今回は、始めにご紹介いたします。

★☆★展示会・学会出展のお知らせ★☆★
展示会『SEMICON JAPAN 2013』学会『SiC及び関連半導体研究第22回講演会』
に弊社SOLが出展します。

なんと、粗さ測定機FlatMaster Raの実機展示＆体験測定も予定してます！
ぜひ、弊社ブースまで足をお運びください♪お待ちしております。

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展示会　： SEMICON JAPAN 2013 
会　期　：12月4日（水）～6日（金） 
会　場　：幕張メッセ 
ブース番号：4A-613 
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展示会　： SiC及び関連半導体研究第22回講演会 
会　期　：12月9日（月）～10日（火） 
会　場　：埼玉会館  
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ではでは、気を取り直しまして11月の本題に入りましょう☆
今月は【干渉計の種類】についてお話します


Corning Tropel社製の平面度測定機『FlatMasterシリーズ』は、
フィゾー干渉を採用しています。　皆様ご存じですよね!?？

干渉型はその他にも『Michelson』『Mirau』『Linnik』があります。
各々の干渉計について簡単にお話しましょう♪

☆Michelson☆
対物レンズとビームスプリッターと参照面から形成されています。
レーザーから出力された平行光をビームスプリッターにより2つの
光路に分割し、参照面とサンプル表面で反射させ、元の光路を通り
ビームスプリッターで重ねることにより干渉縞が生じさせます♪

ビームスプリッターをサンプル面と対物レンズの間に入れる必要が
あるため、長いWorking Distanceがなければなりませんね！

ということは、粗さを測定する時は低い開口数で長い
Working Distanceをもつ低倍率の対物レンズを使った測定に
向いていますね！！


次は☆Linnik☆
対物レンズとビームスプリッターと同じ顕微鏡対物レンズ×2と
参照鏡から形成されています。2つの対物レンズは光学収差が最小で
フリンジのコントラストが最大になるようにビームスプリッターで
合わせます。

このLinnikの干渉計は、Warking Distanceが短い高倍率の対物レンズが
用いられています。
このシステムは高倍率での測定の方が向いてそうですね！


そして☆Mirau☆
中の光学系はマイケルソンとほぼ同じです。
ただ、ビームスプリッターのかわりに、片側がコーティングされている
ガラス板が入っています！ガラス板が入っていることにより、レンズの倍率は
制限されてしまいますが、粗さ測定機では、多用されている光学系です♪
MirauとMichelsonは同じように等光路干渉計を利用していますよねっ。

2013年の2月のメルマガで粗さ測定をちょろっと紹介しました
『Corning Tropel社製の粗さ測定機Flatmaster Ra』はミラウ型の干渉計です♪
弊社にデモ機が設置されました。12月の展示会にも実機展示予定です！

FlatMasterシリーズはほとんどがフィゾー干渉を採用しています。
フィゾー干渉計はMirauやMichelsonとは異なり不等光路長干渉計です。
また、上記3つの光学系よりも長いコヒーレンス長の光源を必要とします。
FlatMasterは半導体レーザーを使用しています♪もちろん単色光レーザーです！
レーザー光はスポット光ではなく、対物レンズで広げて全面一括測定できるように
しています。（皆様ご存じですよね。。。m(_ _)mスミマセン)

でもなぜ長いコヒーレンス長の光源が必要なのでしょうか？？？？？
短くてもいいの？長くてもいいの？
こんな疑問が湧いてきましたか？私はまったく湧きません…でした。

なんで長いコヒーレンス長が必要なのかは、まだ今後のメルマガで♪

 いつも最後まで弊社メールマガジンを読んでくださった方々、
 本当にありがとうございます！
 今後も、初心者（自分か？）向けメルマガを配信します♪
 楽しみにし下さいね☆★
 次回のメールマガジンもしくは対面してお会いしましょう！


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F.N