logo

logo

メールマガジン・新着情報一覧

  1. TOP
  2. メールマガジン・新着情報一覧
  3. D-0076. 干渉計の種類 — FN

2013.11.30

D-0076. 干渉計の種類 — FN

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇

干渉計の種類

発行:エスオーエル株式会社
http://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術!」
2013年11月30日号 VOL.076

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇



皆様こんにちは。

(( メルマガ登録会員の皆さまは、エスオーエル名物「○○○ごと」をご覧頂けます! ))


いつもは、メルマガの最後に展示会出店のお知らせをしておりますが、
今回は、始めにご紹介いたします。

★☆★展示会・学会出展のお知らせ★☆★
展示会『SEMICON JAPAN 2013』学会『SiC及び関連半導体研究第22回講演会』
に弊社SOLが出展します。

なんと、粗さ測定機FlatMaster Raの実機展示&体験測定も予定してます!
ぜひ、弊社ブースまで足をお運びください♪お待ちしております。

― - ― - ― - ― ― - ― - ― - ― ― - ― - ― - ― ― - ― - 
展示会 : SEMICON JAPAN 2013 
会 期 :12月4日(水)~6日(金) 
会 場 :幕張メッセ 
ブース番号:4A-613 
― - ― - ― - ― ― - ― - ― - ― ― - ― - ― - ― ― - ― - 
 
― - ― - ― - ― ― - ― - ― - ― ― - ― - ― - ― ― - ― - 
展示会 : SiC及び関連半導体研究第22回講演会 
会 期 :12月9日(月)~10日(火) 
会 場 :埼玉会館  
― - ― - ― - ― ― - ― - ― - ― ― - ― - ― - ― ― - ― - 


ではでは、気を取り直しまして11月の本題に入りましょう☆
今月は【干渉計の種類】についてお話します


Corning Tropel社製の平面度測定機『FlatMasterシリーズ』は、
フィゾー干渉を採用しています。 皆様ご存じですよね!??

干渉型はその他にも『Michelson』『Mirau』『Linnik』があります。
各々の干渉計について簡単にお話しましょう♪

☆Michelson☆
対物レンズとビームスプリッターと参照面から形成されています。
レーザーから出力された平行光をビームスプリッターにより2つの
光路に分割し、参照面とサンプル表面で反射させ、元の光路を通り
ビームスプリッターで重ねることにより干渉縞が生じさせます♪

ビームスプリッターをサンプル面と対物レンズの間に入れる必要が
あるため、長いWorking Distanceがなければなりませんね!

ということは、粗さを測定する時は低い開口数で長い
Working Distanceをもつ低倍率の対物レンズを使った測定に
向いていますね!!


次は☆Linnik☆
対物レンズとビームスプリッターと同じ顕微鏡対物レンズ×2と
参照鏡から形成されています。2つの対物レンズは光学収差が最小で
フリンジのコントラストが最大になるようにビームスプリッターで
合わせます。

このLinnikの干渉計は、Warking Distanceが短い高倍率の対物レンズが
用いられています。
このシステムは高倍率での測定の方が向いてそうですね!


そして☆Mirau☆
中の光学系はマイケルソンとほぼ同じです。
ただ、ビームスプリッターのかわりに、片側がコーティングされている
ガラス板が入っています!ガラス板が入っていることにより、レンズの倍率は
制限されてしまいますが、粗さ測定機では、多用されている光学系です♪
MirauとMichelsonは同じように等光路干渉計を利用していますよねっ。

2013年の2月のメルマガで粗さ測定をちょろっと紹介しました
『Corning Tropel社製の粗さ測定機Flatmaster Ra』はミラウ型の干渉計です♪
弊社にデモ機が設置されました。12月の展示会にも実機展示予定です!

FlatMasterシリーズはほとんどがフィゾー干渉を採用しています。
フィゾー干渉計はMirauやMichelsonとは異なり不等光路長干渉計です。
また、上記3つの光学系よりも長いコヒーレンス長の光源を必要とします。
FlatMasterは半導体レーザーを使用しています♪もちろん単色光レーザーです!
レーザー光はスポット光ではなく、対物レンズで広げて全面一括測定できるように
しています。(皆様ご存じですよね。。。m(_ _)mスミマセン)

でもなぜ長いコヒーレンス長の光源が必要なのでしょうか?????
短くてもいいの?長くてもいいの?
こんな疑問が湧いてきましたか?私はまったく湧きません…でした。

なんで長いコヒーレンス長が必要なのかは、まだ今後のメルマガで♪

 いつも最後まで弊社メールマガジンを読んでくださった方々、
 本当にありがとうございます!
 今後も、初心者(自分か?)向けメルマガを配信します♪
 楽しみにし下さいね☆★
 次回のメールマガジンもしくは対面してお会いしましょう!


--
F.N

一覧に戻る

お問い合わせ Contact

048-441-1133

お問合せフォーム