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2013.04.30

D-0069. FlatMasterでの平行度測定! — FN

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FlatMasterでの平行度測定!

発行:エスオーエル株式会社
http://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術!」
2013年4月30日号 VOL.069

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。

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皆様こんにちは!

(( メルマガ登録会員の皆さまは、エスオーエル名物「○○○ごと」をご覧頂けます! ))


今月は『FlatMasterでの平行度測定!』についてです。

FlatMasterは“平面度を測定する”のがメインの装置ですが、
それだけではありません。平行度の測定も可能です。


但し、平行度の測定には条件があります。
・サンプル表面とサンプル表面の距離が400um以下であること。
・サンプルの平面度が良いこと。
・サンプルの面状態が粗面ではないこと。

一括全面照射で約20万点のデータが取得でき、測定~解析時間は
約1分です。サンプルをセットし、測定ボタンを
押せば測定から解析・データ出力までできます。


実際測定した結果を載せたいのですが、メールマガジンに
載せられないのが残念です。
反響があれば、ホームページに載せることも検討します!

平面度だけでなく平行度も測定出来るマルチな戦士『FlatMaster』、
是非検討してみては如何でしょうか?


最後まで見てくださった方々、ありがとうございます!

次回のメールマガジンでお会いしましょう!

--
F.N

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