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2012.09.30

D-0062. 自動搬送機付きウェーハ平面度測定解析装置 UltraSort — FN

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自動搬送機付きウェーハ平面度測定解析装置 UltraSort

発行:エスオーエル株式会社
http://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術!」
2012年9月30日号 VOL.062

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。

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皆様こんにちは!

(( メルマガ登録会員の皆さまは、エスオーエル名物「○○○ごと」をご覧頂けます! ))


今回のテーマは
『自動搬送機付きウェーハ平面度測定解析装置 UltraSort』です。


実はこのたび、UltraSortの新規仕様が発表されました!

●通常だと、
◎カセット数 :2~6インチで4カセット
       :4~8インチで3カセット
◎測定処理速度:60枚/時間 (厚み、全面吸着測定、非吸着測定)

●新規仕様では、
◎カセット数 :全てのインチサイズで12カセット
◎測定処理速度:120枚/時間(厚み、全面吸着測定、非吸着測定)

カセット数は3倍に増え、スループットも2倍!
処理効果は弊社の現存の自動機と比較しても単純に考えても6倍!!

現在ご使用の方も、今自動機を考えている方も、一度エスオーエルに
問い合わしてみては如何でしょうか??


--
F.N

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