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自動搬送機付きウェーハ平面度測定解析装置 UltraSort

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術！」
2012年9月30日号　VOL.062

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。

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皆様こんにちは！

(( メルマガ登録会員の皆さまは、エスオーエル名物「○○○ごと」をご覧頂けます！ ))


今回のテーマは
『自動搬送機付きウェーハ平面度測定解析装置 UltraSort』です。


実はこのたび、UltraSortの新規仕様が発表されました！

●通常だと、
◎カセット数　：2～6インチで4カセット
　　　　　　　：4～8インチで3カセット
◎測定処理速度：60枚／時間 （厚み、全面吸着測定、非吸着測定）

●新規仕様では、
◎カセット数　：全てのインチサイズで12カセット
◎測定処理速度：120枚／時間（厚み、全面吸着測定、非吸着測定）

カセット数は3倍に増え、スループットも2倍！
処理効果は弊社の現存の自動機と比較しても単純に考えても6倍！！

現在ご使用の方も、今自動機を考えている方も、一度エスオーエルに
問い合わしてみては如何でしょうか？？


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F.N