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空気の揺らぎの測定への影響

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術！」
2012年3月30日号　VOL.054

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
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皆様こんにちは！

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今回のメルマガのテーマは『空気の揺らぎの測定への影響』です。

このメルマガを読む際に見て頂きたいのは、弊社ＳＯＬのＨＰです。
ＨＰ内のFlatMaster Seriesの測定原理の中の［斜入射干渉計］の
図を参照下さい。
　　斜入射干渉計の図

右図の参照平面プリズムと測定サンプルの間隔をＨとします。
図内のθは、参照平面の垂線とサンプルに入射する光とのなす角度
です。
参照平面からレーザー光が出た点から測定サンプル表面に当たる点
までの距離をＬとします。

空気の屈折率をｎとすると
空気中の光路長＝２Ｌ×ｎ＝２×Ｈ／ｃｏｓθ×ｎとなります。

Ｈ＝0.2mm、θ＝85°の場合、空気中の光路長＝2.29×ｎ(mm)
となります。

では、もし、Ｈ＝50mm、θ＝8°の場合だったら？
空気の光路長＝50.49×ｎ(mm)となるのです！

屈折率がΔｎだけ変化した場合の光路長の変化は、
50.49Δｎ／2.29Δｎ＝２２
となります。
Ｈが50mmの方が空気の揺らぎの影響を２２倍受けやすくなるのです。
この結果から、空気中の光路長が短いほど空気の揺らぎの影響を受
けにくくなるのです。
FlatMasterは参照平面と測定サンプルの間隔が約0.2mmで、入射角も
約77°から88°までを使用しておりますので、空気の揺らぎの影響を
受けない構造になっています。


今回のメルマガを読んで、少しでもご興味を持って頂ければ幸いです。


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F.N