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平面度測定機FlatMasterのズーム機能

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術！」
2011年8月30日号　VOL.044

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。

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メルマガを読んで下さっている皆様、こんにちは！


今回は、
弊社の『平面度測定機FlatMasterのズーム機能』について
お話します。

平面度測定機FlatMasterには、FlatMaster40、FlatMaster100、
FlatMaster200の3シリーズがあり、全てのCCDカメラの手前に
ズームレンズがついています。ズームレンズとは、一定範囲内で焦
点距離を自由に変えることができ、ピント位置が変化しない（変化
が少ない）レンズです。

FlatMaster40を例にとってズーム機能について話しましょう。
FlatMaster40の測定領域はφ5～40mmとなっています。
弊社のカメラは有効ピクセル数が480ピクセルのCCDカメラを
使用しています。

ズームレンズなしのCCDカメラでφ5mmのサンプルの平面度を測
定したら、横分解能は0.08mm/pixelです。
これでは、φ5mmのサンプルを測定すると、60pixelしか使用して
いないことになりますので、有効ピクセル数の8分の1し
か使用できていません。

しかし、ズームレンズありのCCDカメラでφ5mmのサンプルを測
定すれば、横分解能が0.01mm/pixelとなり、有効ピクセル数を目一
杯使用することが出来ます。
局所勾配が大きく、干渉縞が混み合った部分では、横分解能の高い
方がデータ取り込みに有利です。

ズームレンズってすごいですね！！！

サンプルが小さければ小さい程、ズーム機能が必要になっていきますし、
ズーム機能のお陰で、FlatMasterは3シリーズ以内でφ200mmまで
のサンプルを測定することが出来ているのです。

最近では、小さい工業部品の平面度を測定したいというお客様が増えて
います。今、FlatMaster40がプッシュされています！！！

小さい部品から大きな部品まで、平面度測定が必要なサンプルがありま
したら、お気軽に弊社までご連絡ください！

社員一同でお客様の問題解決のお役に立ちたいと考えています。
また来月末にお会いできることを心よりお待ちしております。


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F.N