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ウェーハ外周のダレ

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術！」
2011年6月30日号　VOL.041

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メルマガを読んで下さっている皆様、こんにちは！

今回は、ウェーハ外周の測定について話したいと思います。

φ150mmのウェーハの裏面を全面吸着させて測定した時に、
外周にダレが生じるサンプルを例にとります。


縞感度S=1.5μm/fr にて裏面全面吸着測定をしたら、外周のダレが確認できました。
次に、S=4.0μm/fr と S=9.0μm/fr にて裏面全面吸着測定を行いました。

すると、縞感度が大きくなればなる程、ダレの大きさはどんどん大きくなっていきました。


「縞感度を1.5μm/fr から 9.0μm/fr に変化させていくと、外周のダレがより多くとれる」
ということは、どういうことでしょうか。

実は、外周のダレの勾配は、縞感度によって捉えられる範囲が異なります。
どれだけのダレの勾配まで捉えられるかは、下記の式によって算出することができます。

　　測定可能な勾配(μm/mm) = 縞感度(μm/fr)/2 × 横分解能(pixel/mm)


この式を使って、φ150mmのウェーハの測定可能なダレの勾配を計算してみます。

S=1.5μm/fr のとき、
　　1.5μm(μm/fr)/2 × 3.2(pixel/mm) = 2.4μm/mm

S=4.0μm/fr のとき、
　　4.0μm(μm/fr)/2 × 3.2(pixel/mm) = 6.4μm/mm

S=9.0μm/fr のとき、
　　9.0μm(μm/fr)/2 × 3.2(pixel/mm) = 14.4μm/mm

となります。

数値化してみると分かり易いですね！

以上から、縞感度を落として測定すれば、ウェーハの外周のダレがより多くとれます。


では、また月末にお会いしましょう！


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F.N