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2011.01.30

D-0033. TROPEL 斜入射式 平面度測定機のフリンジスキャン — TS

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TROPEL 斜入射式 平面度測定機のフリンジスキャン

発行:エスオーエル株式会社
http://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術!」
2011年1月30日号 VOL.033

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。

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今回は改めて、フリンジスキャンについて考えてみたいと思います。
スキャンと言ってはおりますが、これはSEMのように測定面内を
一筆書きに走査していくような手法ではありません。
TROPELの平面度測定機は10秒ほどで数万点の平面データを
取得することができます。一筆書きにして測定する方法では
スピードに限界があります。


フリンジスキャンとはビームエキスパンダで一括照射された
全面の干渉縞(フリンジ)を一斉に動かす(スキャンする)方法です。
FMシリーズの場合はレーザーの入射角度を微少に変化させています。
こうすることで、干渉縞が流れるような動きを見せます。
この動作がフリンジスキャンです。


このフリンジスキャンをCCDで検知します。
TROPELの平面度測定機は480×480pixのCCDを使用しています。
最大エリアで23万点のデータが測定できる計算になります。
このpixデータをTROPEL独自のソフトウェアが情報処理し、
平面度測定の結果を導き出しています。
この情報処理方法については以下に簡単な原理説明があります。


斜入射干渉計の測定原理


このTROPEL独自のソフトウェアはWindows上で動作します。
ソフト上のグラフィックで表示させることもできますし、
数値データはExcelやTextなどで出力させることも可能です。


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T.S

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