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2010.10.30

D-0028. 二次フリンジで裏面も測定 — TS

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二次フリンジで裏面も測定

発行:エスオーエル株式会社
http://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術!」
2010年10月30日号 VOL.028

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。

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透明品を測定する場合、二次フリンジを利用することで、
TTV(厚みムラ)を算出することができることは何度かメルマガで
紹介しておりますが、この二次フリンジを一次フリンジと
掛け合わせることで、もっと面白い情報を引き出すことができます。

ひとつは裏面情報を割り出すことができます。
表面の状態に厚みムラ(TTV)を足し合わせることで
干渉計とは反対側の裏面の形状が算出できます。
この測定条件のレシピを作っておけば、表面と裏面を
いちいち測定しなくても片側一回の測定で表面形状、厚みムラ、
裏面形状まで測定することができます。

もうひとつ面白い使い方があります。ウェーハではソリを
評価する方法として、中間面のソリを算出する場合があります。
両面が凸凸形状であったり、凹凹形状である場合、
中間面はほぼ平坦で、ほとんど反っていないというケースがあります。
この場合、ウェーハは反っていませんが、片面を干渉計で
測定すると、凸型や凹型に反っているものと考えてしまいます。

しかし、この中間の面は表面や裏面からの測定では直接測定できない面です。
ところが、この測定できない中間面は、厚みムラ(TTV)の中間面と
平行な面になっていると考えることができます。
ならば、TTVの半分を片側の面形状に足し合わせることで、
中間面の形状を算出することができます。
これもレシピ条件を作っておけば、表面形状、厚みムラ、中間面、裏面形状を
一度の測定で算出することが可能です。


二次フリンジは一次フリンジを観測する場合に邪魔な情報になることもありますが、
レシピをちょっと工夫することで、もっと有益な情報を得ることができます。


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T.S

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