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2020.12.02
B-0092. Tropel製品ラインナップ(ウェーハ向け) — A.T
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Tropel製品ラインナップ(ウェーハ向け)
発行:エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/
連載「高鍋鮎美の三次元測定機って何なの??」
2020年12月2日号 VOL.092
平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
X線CTスキャンによる精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。
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こんにちは。営業の高鍋鮎美です。
12月に入り、今年の終りも見えてきましたね。
今年はずっとCOVID-19があったので、特にあっという間だった気がします。
さて、弊社のお客様の業界も色々な影響があったと思います。
コロナにより厳しい状況になってしまった業界もあれば、
逆に忙しくなり、設備投資にも積極的だった会社様もあります。
まだまだ難しい状況ではありますが、
弊社のお問合せベースで見ますと、先月頃からだいぶ広い業界で
前向きなお話を頂く事が増えてきたなという印象です。
さてさて、今回のメルマガですが、
Tropel製品、特にウェーハ向けに関して、
現在のラインナップをまとめてみたいと思います。
新規または既存機の代替でご検討のお客様は参考にして頂ければ幸いです。
(価格順に並べます。安価→高価)
1.FlatMaster200-Wafer:
20年以上変わらずある手動機モデルです。
・~φ8”まで
・付属で2”~8” SORI(Warp,Bow)測定用のチャックが付きます。
・TTV用チャックは必要なインチ毎にご購入頂きます。
・基板垂直保持
※SOLにてデモ機あり
2.FlatMaster200-SemiAuto:
5年前にリリースされ、現在は「スタンダート機」という位置付けです。
サンプルセットと取り出しは手動で、ギャップ調整などは自動で行います。
・~φ8”まで
・付属のユニバーサルチャック1つで、2”~8”の全測定項目に対応しています。
・厚み測定可能
・後から自動機にアップグレード可能
・基板水平保持
※SOLにてデモ機あり
3.MSPシリーズ:
ガラスウェーハやパターン付きウェーハなど、
他の機種では測定が困難なアプリケーションでお役に立つ場合があります。
・~φ12”まで
・位相差比較だけではなく周波数解析も可能
・ガラスウェーハ測定で実績多数
※SOLにてMSP150(~φ6”)はデモ機あり
4.UltraSort II コンパクト:
2019年から販売開始となった自動機モデルです。
・~φ8”まで
・スループットはTTV+SORI測定で90枚/h
・厚み測定可能
・通信仕様、OCR対応不可
・基板水平保持
5.UltraSort II:
自動機のスタンダードモデルです。
・~φ8”まで
・スループットはTTV+SORI測定で150枚/h
・厚み測定可能
・通信仕様、OCR対応可
・基板水平保持
より詳しい情報はお問合せ頂ければ幸いです。
今週も最後までお読み頂きありがとうございました。
--
A.T

