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取り扱い製品概要とデモ機情報 
 
発行：エスオーエル株式会社 
https://www.sol-j.co.jp/ 
 
連載「高鍋鮎美の三次元測定機って何なの？？」 
2015年12月16日号　VOL.033 
 
平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 
X線CTスキャンによる精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 
無料にてメールマガジンを配信いたしております。 
 
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こんにちは。営業の高鍋鮎美です。 
 
 
今日から3日間、セミコンが開催されています。 
 
弊社も毎年出展しておりまして、東棟のブースNo.2224です。 
CorningTropel社の粗さ測定機を持って行っておりますので、 
サンプルをお持ちでお越し頂ければ、その場で測定致します。 
 
 
さて、今回はこの場を借りて改めて弊社取り扱い製品とその特長、 
デモ可否等をまとめてみます。 
 
 
【CorningTropel社製品】 
平面度測定をメインに粗さ測定等、幅を広げています。 
対象はフォトマスク、各種ウェーハ、ディスク、メカニカルシール、 
その他機械部品です。 
 
〈ウェーハ測定用途〉 
①FlatMaster-Wafer：デモ機あり(φ～200mm対応) 
　ウェーハ平面度を全面、30秒で測定します。 
　SiC、GaN、Lt、サファイア、シリコン、ガラスと材料は問いませんし、 
　アズスライス～鏡面まで面状態も幅広く対応可能です。 
 
　※厚み300um以下のウェーハには薄物対応用機種もあります。 
 
②FlatMaster-SemiAuto：デモ機なし(ご評価は③使用) 
　①と同じような測定が出来ます。 
　違いはチャックが測定項目やウェーハインチサイズに関係なく 
　共通の1種類を使えることです。 
　さまざまなウェーハを測定される場合には測定時間が①の半分程度です。 
　また、水平置きなので、薄いウェーハにも適しています。 
 
③UltraSort：デモ機あり(φ～150mm対応) 
　①②同様の測定を全自動で行う機種です。 
　UltraSort150は2”～6”対応で4カセット、 
　UltraSort200は4”～8”対応で3カセットです。 
 
　メーカーではさらにスループット向上機種としてUltraSortⅡも開発しました。 
　吸着・非吸着測定で160枚/hをターゲットにしています。 
 
④FlatMaster MSP-Wafer：デモ機なし(ご評価は⑦使用) 
　②に似ていますが、違いは厚みを精度良く(繰返し0.1um)測定出来ることです。 
　研磨量前後の比較や、膜付け前後の比較を全面データで行えることがメリットです。 
　また、水晶基板の測定にも最適です。 
 
⑤FlatMaster-Ra：デモ機あり 
　「簡単に測定出来る」が特徴の白色干渉計粗さ測定機です。 
 
 
〈機械部品測定用途〉 
⑥FlatMaster-Industrial：デモ機あり(ご評価はφ～200mm対応) 
　メカニカルシールや、水道の弁、油圧部品に使われています。 
　30秒で最大25万点の全面データを取得します。 
　また平面度だけではなく、うねりも測定出来ますので漏れ対策で有効です。 
 
⑦FlatMaster-MSP：デモ機あり(ご評価はφ～150mm対応) 
　段差があるサンプルにはこちらの装置が便利です。 
　コンプレッサーなど、トップ面と奥まった面それぞれの平面度と高さ、 
　平行度の測定が60秒で簡単に出来ます。 
 
〈フォトマスク〉 
⑧UltraFlat：デモ機なし 
　フォトマスク専用の超高精度平面度測定機です。 
　業界標準機として、実績多数です。 
 
 
【Werth社製品】　 
三次元測定機メーカーの中でも、既存ラインナップの枠を超えて、 
「お客様のご要望に合った装置」を追及するメーカーです。 
 
⑨TomoScope：デモ機あり(ご評価はφ～300mmｘL～300mm対応) 
　「寸法測定が保証出来るX線CT装置」です。 
　樹脂、金属、複合材料、ユニット品全てで透過力と大きさが 
　ある範囲以内であれば測定出来ます。 
 
⑩VideoCheck：デモ機あり(テーブルサイズ400mmｘ400mm) 
　三次元測定機で繰返し精度1um以下というご要望に対応出来る機種です。 
　マルチセンサー式で、ご要望に合わせて必要なプローブを組み合わせていきます。 
　 
⑪ScopeCheck：デモ機あり(テーブルサイズ400mmｘ200mm) 
　性能を限定した三次元測定機です。 
　画像処理とレーザー、接触式プローブが搭載出来ます。 
 
 
 
来年1月のサンプル測定、デモ測定がまだ空きがありますので、 
ご希望の方は、ご連絡頂ければ幸いです。 
 
今週も、最後までお読み頂いて、ありがとうございました。 


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A.T


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