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Tropel社の粗さ測定機でAFMとの相関取り 
 
発行：エスオーエル株式会社 
https://www.sol-j.co.jp/ 
 
連載「三次元測定機って何なの？？」 
2014年12月31日号　VOL.023 
 
平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 
無料にてメールマガジンを配信いたしております。 
 
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こんにちは。
 
お気付きの方もいらっしゃいますが、弊社のメルマガは毎週水曜日に各担当者が書いています。 
私は5週目担当なので、2～3ヶ月おきに出番が回ってきます。 
 
今月(12月)は、第5水曜日が31日だったので、大晦日で皆様お休みですし、 
皆様がメールを受信する頃には1月5日とか6日とか、、休み中の大量のメールや年始のご挨拶など 
お忙しいかと思ったので、メルマガ責任者の高野リーダーに、 
「さすがに31日はいらないですよね。。」と言ってみました。 
すると、 
「・・・・。今まで毎週出しています。」と言われました。 
「・・・・。ですよね。」と言って、今こうして書いています。 
 
 
さて、今回ご紹介するテーマですが、粗さ測定に関して最新情報をお話したいと思います。 
 
弊社が代理店をしていますCorningTropel社は「平面度測定」で皆様にご認識頂いていると 
思いますが、2013年秋に粗さ測定機「FlatMaster-Ra」も開発し販売開始になりました。 
 
粗さ測定というと、接触式や顕微鏡タイプの白色干渉計、鏡面を高精度に測る場合には 
AFM（原子間力顕微鏡）等、既に皆様よくご存知ですし、何かしら持っていらっしゃると思います。 
 
後発のTropelが、そもそも何故粗さ測定の分野に参入したかというと、 
メーカーの責任者曰く、 
「平面度をやっていると、粗さも測りたいという声が多くあるから」だそうです。 
当初は、あくまでも平面度がメインで、粗さは補助的な立ち居地というコンセプトで加わった装置でした。 
 
しかし「平面度」で培ったノウハウを生かして、ソフト面、ハード面ともに完成度の高い良い装置でした。 
 
原理は白色干渉計でマーケットリーダーのZ社さんの装置と同じですが、 
構造を工夫したことによるメリットが明確な装置だったので、 
エスオーエルでは粗さ測定というマーケットにて新たにご提供出来る価値、 
つまり「アプリケーション開発」と弊社では呼んでいますが、これを探す活動を始めました。 
 
そして1年以上掛かり、ようやく実績が出ました。 
 
最近、その第一号の納品に伴って、弊社にで最終チェックを行う機会があり、完成品を見ました。 
 
1年前のリリース開始時とは比べ物にならない位、特にソフト面が進化していて、 
新しい機能が加わったこともありますが、より使いやすく、より格好良くなっていました。 
 
実績が出るということは売上になるという事で、営業としては有難い限りですが、 
さらに喜ばしいことは、そのご購入下さったお客様の為に、メーカーも本気になって改良することです。 
 
Tropelのメンバーと話すと、難しい課題をすぐ「interesting（面白い）」と言います。 
しかも満面の笑みで。 
「エンジニアだな～」と思います。 
 
今回のお客様は、単に基板の粗さを測るというご要望ではなかった為、既存品では満足レベルまで 
到達しなかったようで、Tropelの良さを引き出してもらえました。 
 
それにより、アズスライスから鏡面まで置くだけですぐ測れるという従来の特徴に加えて、 
欠陥等により局所的に凹んでいたり、逆に凸になっていたり、「平均化というフィルターで消えてしまうような 
形状を測定出来る」という新たな価値が生まれました。 
 
この辺りについては、ホームページでも測定事例や動画等を充実させて、 
他の白色干渉計と何が異なるのかを皆様に分かりやすく解説したいと思っています。 
 
 
そして、弊社が今やろうとしている取り組みは、タイトルにもありますが、AFMとの相関取りです。 
 
Tropelの粗さ測定機FlatMaster-Raは、「アズスライスから鏡面まで測定可能」と謳っています。 
鏡面というと0.1nmレベルですが、このレベルはAFMでしか測れないと思われている領域です。 
 
お客様に紹介すると必ず「AFMと相関取れますか？」と聞かれますが 
今のところの検証結果では、非常によく相関が取れています。 
 
ただし、まだ検証しなければいけない事があります。 
それは、 
・お客様がAFMを使って何を評価しているのか 
・相関が取れる粗さの周波数と取れない周波数の境界はどこか 
・材料によって相関が取れたり取れなかったりするのは何故か　等です。 
 
例えばあるお客様でサンプル測定して頂いた際は、 
AFMでは粗さ0.4nm位だったのが、TropelのFlatMaster-Raでは0.2nm位だったり、 
もう少し近い値のものもありましたが、完全に一致という訳ではありませんでした。 
 
そもそもAFMは、探針でラインを引っかく方式に対し、FlatMaster-Raは1mm角とか、0.2mm角とか 
エリアにおける測定なので、その差なのかもしれません。 
 
FlatMaster-Raの理論的な性能、繰り返し精度の実験等、ある程度信用出来るという材料は揃ってきましたが、 
もう少しN数を増やして、色々な条件を整えて検証したいと考えています。 
 
もしご興味があって、ご協力頂けるお客様がいらっしゃれば、サンプルを送って頂けると助かります！ 
 
 
今週も最後までお読み頂き、ありがとうございました。 


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A.T