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測定領域と測定データ

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「三次元測定機って何なの？？」
2014年4月30日号　VOL.020

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
三次元測定機やアプリケーション例などをテーマに、
無料にてメールマガジンとして配信いたします。

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皆様、こんにちは。

3年前まで私もメルマガを書いていましたが、出産の為お休みしていました。
2人の息子を産んで、昨年12月より復帰しました。

弊社からのメルマガはは毎週水曜日に、それぞれの担当者が配信しています。
私は第5水曜日のある月だけ、書かせて頂くことになりましたので、
皆様、また宜しくお願いします。



さて、今回は「測定領域と測定データ」というテーマでお話したいと思います。

弊社では20年以上、CorningTropel社の平面度測定機FlatMasterシリーズを扱っていますが、
最近改めて気付いたことがあります。
それは、測定データは測定領域が明確であって初めて意味を成すということです。

FlatMasterでサンプル測定をご依頼頂く際、「エッヂカット何mm」とご指定頂くことはよくあります。
例えばφ100mmのウェーハでエッヂカット2mmをした場合、φ96mmのデータだと思う方が多いと思います。
しかし、実際はそうではありません。

ウェーハは、エッヂ部分に約0.5mmのロールオフがあります。

また、外周に近づくに従って形状が反り上がったり、だれたりしがちです。
このように形状がきついことを、「局所勾配が大きい」と表現しますが、
局所勾配が大きい場合、その部分のデータは干渉計では取得出来ません。

測定出来ない領域がある場合、エラー表示をさせる方法もあるようですが、
弊社の扱うFlatMasterは、データを取得出来ない部分のみ表示せず（データ欠落と読んでいます）、
取れた部分は表示させるという方法が可能です。

これにより、厚みムラや反りが大きく、全面の測定データが取得出来ない場合でも、
最低限、測定出来た部分の測定値や形状は分かりますし、どの部分が局所勾配が大きいのか
（どこが厚みムラや反りが大きい原因の箇所か）も分かります。

また、FlatMasterでは、測定データ解析の際に任意の直線や円で2Dスライスを表示させ、
測定データの有無と数値を確認出来ますので、φ何mmの領域までデータが取れたのか正確に分かります。

測定結果の得られた数値は、あくまでも測定出来た領域での厚みムラや反りです。
当たり前に聞こえるかもしれませんが、意外と意識されている方は少ないのではないでしょうか。

エッヂに近ければ近いほどチップは沢山とれるところです。
そこで測定値の誤解により、歩留まりが悪くなってしますと大きな損害だと思います。

このメルマガを読んで少しでも「測定領域と測定データ」というものを意識して下されば有難いです。


次回第5水曜日があるのは7月なので、私はまた7月にお送りします。
ありがとうございました。


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A.T