海外の高精度測定機メーカー(Tropel, Werth)の国内代理店エスオーエル(SOL)
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FlatMasterシリーズの干渉計の測定原理をご紹介します。
毎週水曜日に配信しているメールマガジンのバックナンバーです。干渉計・三次元測定機・X線CT等、最新の測定技術に関する情報が満載です。
トロペル社の平面度測定機で測定できるウェーハ測定項目について解説しています。SEMI規格に全て対応しています。
ベアト社の三次元測定機で測定できる幾何公差について解説しています。
上記以外の技術資料を掲載しています。
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