事例：吸着測定（TTV、LTV）
FlatMasterシリーズならTTV(GBIR)やLTV(SBIR)など、SEMI規格の測定項目全て対応可能です。
また、同じウェーハの測定値でも測定時の取得領域によって多少のばらつきが出ます。この対策として FlatMasterシリーズは測定領域を自動表示させる機能を加えました。
TTV測定データ(2Dプロット、3Dプロット、X断面、Y断面)
LTVサイト解析データ
LTVは緑が良品、赤が不良品です。
サイトサイズや閾値は任意設定可能。
測定可能機種
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FlatMaster-Wafer
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FlatMaster-Industrial to Wafer
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FlatMaster-Semi Auto Wafer
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UltraSortⅡ
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FlatMaster MSP-Wafer
※FlatMaster-Industrial to Waferで測定する場合はオプションの機構が必要
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事例一覧
ウェーハ（平面度、表面うねり、粗さほか）
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平面度（TTV、LTV）
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平面度（SORI、BOW、WARP）
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平面度（透明基板）
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研磨量分布、膜厚分布
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平面度（パターン付ウェーハ）
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加工痕（微小うねり）
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結晶欠陥の深さ
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粗さ（鏡面～粗面）
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粗さ（Ltウェーハ裏面）
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粗さ（Ltウェーハ表面）
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粗さ（パターン付ウェーハ）
フォトマスク
三次元測定
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