事例目次

平面度/粗さ測定事例一覧

ウェーハ（平面度、表面うねり、粗さほか）

• 平面度（TTV、LTV）

  

• 平面度（SORI、BOW、WARP）

  

• 平面度（透明基板）

  

• 研磨量分布、膜厚分布

  

• 平面度（パターン付ウェーハ）

  

• 加工痕（微小うねり）

  

• 結晶欠陥の深さ

  

• 粗さ（鏡面～粗面）

  

• 粗さ（Ltウェーハ裏面）

  

• 粗さ（Ltウェーハ表面）

  

• 粗さ（パターン付ウェーハ）

  

フォトマスク

• 平面度

  

機械部品（平面度、表面うねり、粗さほか）

機械部品測定事例の特設ページへ

機械部品など、ウェーハやフォトマスク以外の平面度測定事例は特設ページでご紹介しています。

X線CT/三次元測定事例一覧

X線CT

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寸法測定用X線CTの測定事例は特設ページでご紹介しています。

三次元測定

• WFP:歯車