
事例目次
X線CT/三次元測定機
平面度/粗さ測定事例一覧
ウェーハ(平面度、表面うねり、粗さほか)
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平面度(TTV、LTV)
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平面度(SORI、BOW、WARP)
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平面度(透明基板)
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研磨量分布、膜厚分布
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平面度(パターン付ウェーハ)
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加工痕(微小うねり)
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結晶欠陥の深さ
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粗さ(鏡面~粗面)
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粗さ(Ltウェーハ裏面)
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粗さ(Ltウェーハ表面)
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粗さ(パターン付ウェーハ)
フォトマスク
機械部品(平面度、表面うねり、粗さほか)


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機械部品など、ウェーハやフォトマスク以外の平面度測定事例は特設ページでご紹介しています。
X線CT/三次元測定事例一覧
X線CT


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寸法測定用X線CTの測定事例は特設ページでご紹介しています。
三次元測定
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