連載「測定の新常識!?SOLがお伝えするノウハウ!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ FlatMaster-Wafer, SAW 主要オプションの種類と概要 発行:エスオーエル株式会社 https://www.sol-j.co.jp/ 連載「測定の新常識!?SOLがお伝えするノウハウ!」 2021年9月29日号 VOL.114 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 X線CTスキャンによる精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 無料にてメールマガジンを配信いたしております。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ こんにちは。営業の太田です。 前回6月のメルマガで、「梅雨入りしましたね」と書きましたが もうあっという間に秋ですね。 1日のうちの明るい時間が短くなり、少し寂しい気もしますが、、、 過ごしやすい気候になり、 汗をかくのと冷房が嫌いな私は、快適な毎日を過ごしています。 今年も夏らしいことは特に何も出来ませんでしたが、 花火大会の代わりに、手持ち花火を楽しみ、 川遊びの代わりに、近くの泥池でザリガニを捕まえ、 旅行の代わりに、サイクリングに行き、 プールに行く代わりに、庭にビニールプールを作って遊びました。 「コロナ渦で、一番ストレスを感じているのは 小さい子供を持つ母親だ」というニュースを目にし、 「うん、うん。」と大きく頷きましたが、 こう書いてみると、制限がある中、 結構満喫出来たな、と楽しい気分になってきたので、 私の感じるストレスなんて大したことなかったようです。 来年こそは「代わりに」ではなく、 夏の醍醐味を味わえたら良いなと思っています。 さて、本題に入ります。 前回の内容(FlatMaster-Industrialオプション)の続きとして、 今回は手動機、FlatMaster-Waferと、 半自動機、FlatMaster-SemiAutomatedWafer(以降FlatMaster-SAW)の 主要オプションの種類とそれぞれの概要についてお伝えします。 まず、前回のFlatMaster-Industrialと共通のものは 名前だけご紹介します。 1.XR、XRAオプション 2.FFTオプション 3.リファレンスフラット ※ 詳細は前回(VOL.110)のメルマガをご参照いただけると幸いです。 そして、ここからが手動機、FlatMaster-Waferのオプションとなります。 1.ウェーハチャック  A) 非吸着チャック   FlatMaster-Waferご購入の際、   「Universal Bow Chuck」一つが付属されます。   BOWやSORIなどの非吸着測定を行うためのチャックで、   真ん中1点もしくは3点(インチにより異なる)で   ウェーハが落ちない程度に吸着を行います。     Universal Bow Chuckの対応サイズは   チャック一つで、2"~8"までとなります。  B) 吸着チャック    TTVなどの吸着測定を行うためのチャックです。   Universal Bow Chuckと異なり、インチ毎に   ご用意頂く必要がございます。   インチだけでなく、その他にもお決めいただく必要があるものが   いくつかあります。   ・通常ピッチチャックか、ファインピッチチャックか    → 吸着チャックの表面には、中心から同心円状の溝が掘られており、      真空ポンプで吸引した空気が溝を伝わって      全面吸着できるようになっております。            ファインピッチチャックとは、その溝と溝のピッチが、      通常よりも細かく掘られており、薄いウェーハ等、      外周部が浮きやすいウェーハなどにご案内しております。   ・オリフラかノッチか    → 2"、3"、4"はオリフラ、6"、8"はオリフラもしくはノッチのどちらか、      お客様のウェーハ形状に応じてお決めいただきます。      さらに、6"はオリフラでも、SEMIもしくはJEITAどちらか、ご指定いただきます。     ※ その他、特殊な形状やサイズ等、ご相談いただくことでご対応できる場合もございます 次に、FlatMaster-SAWのオプションです。 1.Wafer Thickness   ウェーハの厚みを測定することが可能なオプションです。   手動機では厚みの測定はできません。 2.ウェーハチャック   FlatMaster-SAWご購入の際、   Universal Chuckが一つ付属されます。   手動機のFlatMaster-Waferと異なり、半自動機のFlatMaster-SAWでは、   それぞれのインチの吸着測定、非吸着測定、全て一つのチャックで測定が可能です。   インチ毎、測定項目毎にチャックを交換いただく必要はありません。   手動機は、チャックの交換に加え、それぞれウェーハの厚みに応じて   ギャップの調整が必要なので、   その手間を省けるのは、メリットですね。   こちらも、オリフラ、ノッチ等に応じて選択肢がありますので、   お客様のウェーハ形状に応じて、お選びいただくことが可能です。   ちなみに、半自動機の魅力は先日のメルマガに   もっと詳しく書いてありましたので、ご参照下さい。   https://www.sol-j.co.jp/mailmag/d-0174.html 3.ウェーハ保持ジグ   保持ジグが標準で4つ付属されます。   サイズはお客様の測定されるインチに応じて、お選びいただくことが可能です。   ※ 4つ目以降は、オプション扱いとなります。   ウェーハ保持ジグがどういうものかというと、   ジグにウェーハをピタッとくっつけて測定することによって、   毎回ほぼ同じ位置で測定ができるというものです。 ここまで書きましたが、 特にチャックなど、 いくつか種類がある中で選択いただくのは大変だと思います。 お客様のニーズやご要望を適宜お伺いし、 適切なチャックやオプションをご提案できるように頑張ります! 「そんなものもあるんだ。」程度に 参考にしていただけると嬉しいです。 次は今年12月最後のメルマガを予定しています。 3ヶ月先ですが、あっという間にその日が来そうですね。 つまり、もう1年が終わるのですね。早い。。。 2021年もHappyだった!と言えるように、 残り3ヶ月有意義に過ごせると良いですね! 最後までお読みいただき、ありがとうございました。 ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: https://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

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