連載「測定の新常識!?SOLがお伝えするノウハウ!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ FlatMaster-Industrial 主要オプションの種類と概要 発行:エスオーエル株式会社 https://www.sol-j.co.jp/ 連載「測定の新常識!?SOLがお伝えするノウハウ!」 2021年6月30日号 VOL.110 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 X線CTスキャンによる精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 無料にてメールマガジンを配信いたしております。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ こんにちは。営業の太田です。 いよいよ関東でも梅雨入りしましたね。 我が家では、子供たちと家庭菜園をすることが 夏の定番となっていまして、 今年は、茄子とオクラとヤングコーンの苗を植えました。 暑い日は、朝子供が水やりをしてくれ、 「茄子のお花が咲いてるよ!もうすぐ食べられるかな?」と 嬉しそうに毎日大事に育てていたのですが、、、 梅雨に入り、なかなかお世話ができず しょんぼりしている子供たちです。 梅雨が終わり、太陽の光をいっぱい浴びて、 美味しい野菜が沢山なってくれることを願っています! 今回は、FlatMaster-Industrial主要オプションの種類と それぞれの概要についてお伝えします。 1.XR、XRAオプション  縞感度約1.8μm/fringe~約7.8μm/fringeの間で、  3段階可変することが可能なオプションです。  以下のような場合にご案内することが多いです。   ・サンプルの平面度に幅がある場合   平面度が10μm以下などの、平面度が良いサンプルの場合、   縞感度の数値を小さく設定することで精度良く測定が可能です。   一方で、大きな反りがあるサンプルや局所勾配のあるサンプルに対しては、   縞感度の数値を大きく設定することで、取得領域が広がる場合があります。  ・サンプルが鏡面、粗面どちらもある場合   縞感度(≒入射角)を可変させることにより、反射率が変わります。   測定面が粗面の場合、縞感度が小さいほど反射の際レーザー光が分散され、   干渉に十分な反射を得られません。   その場合、縞感度をあげることにより、反射を得られる場合があります。  ちなみに、XRとXRAの違いと致しまして、  以下の通り、感度設定の範囲が異なります。  XR :縞感度約4.0μm/fringe~約7.8μm/fringeの間で3段階可変  XRA:縞感度約1.8μm/fringe~約7.8μm/fringeの間で3段階可変 2.FFTオプション  透明品を測定する際にご案内することが多いオプションです。  プリズム表面での反射光と、サンプル表面での反射光(1次フリンジ)を  利用した干渉の結果を表面形状としておりますが、  透明品の場合、この2つの反射光に加え、サンプル裏面からの反射光が  加わる場合があります。これを2次フリンジと呼びます。  FFTオプションが無いと、1次フリンジと2次フリンジを分離することができず  表面形状の測定結果が意図しない結果になることがあります。  FFTで2次フリンジの分離が出来ることによって、  厚みムラなど一部の項目を測定できる場合もあります。  ※ ただし透明品の場合でも、裏面からの反射を十分に得られる場合に限り、    サンプルの厚みや屈折率に応じて異なります 3.リファレンスフラット  光学エラーなど、少しの誤差も測定結果に影響が出るような測定、  例えば、平面度1μm以下の測定の際に  使用していただくことをおすすめしています。  ↓↓詳しくは、過去の記事を御覧ください。↓↓  https://www.sol-j.co.jp/mailmag/d-0134.html まだオプションは他にもありますが、 以上が、お客様にご案内することが多いオプション3種類となります。  ※ 一部、FlatMaster40と100,200で内容が異なる部分があります  FlatMaster-Industrialをお使いのお客様で、 「そういえば最近データが欠落してしまうが、全体の形状を把握したい」 ですとか、 「透明品を測定するようになったが、裏面からの干渉が測定に影響しているようだ」 「1μm以下の製品を測定する機会が増えてきた」 等々、オプション追加で何かお手伝いできることがございましたら お気軽にご連絡いただけると幸いです。 新たに装置ご購入を検討中のお客様も、少しでも FlatMaster-Industrialの「出来ること」について理解を深める 手助けになれていたら、嬉しく思います。 本日はここまで。 これから、ジメジメした梅雨が続くと思いますが 体調など崩されないよう、ご自愛ください。 最後までお読みいただき、ありがとうございました。 ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: https://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

測定機に関する理論や解析技術の情報発信として、定期的にメールマガジンを無料配信しています。メルマガにご登録頂くと、最新情報やWEB未公開の情報をいち早くお手元にお届けすることができます。

メルマガご登録はこちらから