連載「知って得する干渉計測定技術!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ わずか数nmの世界 発行:エスオーエル株式会社 https://www.sol-j.co.jp/ 連載「知って得する干渉計測定技術!」 2020年9月9日号 VOL.164 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 干渉計による精密測定やアプリケーション例などをテーマに、 無料にてメールマガジンとして配信いたします。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ こんにちは! 4月に入社した営業技術グループの顔頡と申します。 どうぞよろしくお願い致します。 簡単に自己紹介を致します。 私は中国上海出身、10年前日本に参りました。 精密測定装置に関わる仕事は2社目ですが、 平面度測定解析装置は初めてです。 今までの仕事で関わった大きさの単位は ほとんどが mm でした。 最小でも μm レベルでした。 現在の職場では μm が基本、 nm も出てきます。 これまでとは完全に違う世界に踏み込みました。 今回は自分が驚いたサイズについて、少しお話し致します。 最新の半導体関連ニュースによると、 今年の後半には 5nm プロセスの量産が行われ、 来年からは 3nm プロセスの生産にも突入する予定 とのことです。 さらには 2nm の製造研究についても進んでいます! ぱっと見て、5nm も 3nm も 2nm も 数字は大して変わらないですね。 シリコン(ケイ素)の原子直径は 0.3nm 以下です。 5nm というのは、ケイ素原子の数で言うと 高々20個程度ということです。 こんなに精密な「絵」を正確にウェハーに 描くことができるなんて、とても不思議な感覚です! 私たちの平面度測定解析装置は、 その不思議なことが実現できるように、 まさにその一環として携わっています。 自分はその中の一員となり、 光栄に思っています。 それでは、今回はここまで。 最後まで読んで頂き、ありがとうございました。 ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: https://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

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