連載「知って得する干渉計測定技術!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ FlatMasterが測定しているのは何か 発行:エスオーエル株式会社 https://www.sol-j.co.jp/ 連載「知って得する干渉計測定技術!」 2020年8月19日号 VOL.163 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 干渉計による精密測定やアプリケーション例などをテーマに、 無料にてメールマガジンとして配信いたします。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ こんにちは。営業技術グループの落合です。 今日は、 FlatMasterはサンプルの平面度を測っているのではない。 ことについて、お話したいと思います。 ええっ、一体どういことですか!? 平面度測定機とホームページに書いてあるではないですか。 となるかと思います。 この夏の暑さで頭がおかしくなったのではありません。 いつもお客様に 「FlatMasterはレーザーの干渉を利用してサンプルの平面度を測定しています」 とご説明している事が、嘘なわけでもありません。 ここでは、 FlatMasterが、実際に直接測っているのは何か? というお話です。 答えは、 空気層(*)の厚みムラを測っています、 です。 (*)空気層:プリズム面とサンプル面の間の空気層。       ギャップとも呼んでいます。 なーんだ、そういうことか、 と思っていただけたかと思います。 FlatMasterでは、 プリズム面とサンプル面の間の光路長差から 干渉縞ができているので、得られるのは 空気層の厚みムラのデータです。 直接測っているのは、サンプルの平面度ではないのです。 でも、その全面データから、 基準面を出し、つまり最小二乗平面を出して、 サンプル各点の位置を算出して、平面度を算出しています。 最終的には、サンプルの平面度を出していますので、 FlatMasterはまぎれもなく平面度測定機です。 今日はここまで。 最後までお読みいただきありがとうございました。 -- Y.O ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: https://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

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