連載「知って得する干渉計測定技術!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ 解析ツリーの見方<入門編>VOL.2 発行:エスオーエル株式会社 http://www.sol-j.co.jp/ 連載「知って得する干渉計測定技術!」 2019年10月23日号 VOL.154 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 干渉計による精密測定やアプリケーション例などをテーマに、 無料にてメールマガジンとして配信いたします。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ こんにちは。営業技術グループの落合です。 弊社の平面度測定機をお使いのお客様へ、 役に立つ情報をお送りしています。 長年お使いのお客様の中には、 「ツリーの構成が何を意味しているのか、分からずに使っている。」 「測定はできているが、本当は設定内容を知りたい。」 という方もいらっしゃるのではないでしょうか。 今日は、解析ツリーの見方<入門編>VOL.2として、 測定解析に欠かせない、フィルタについてピックアップします。  *フィルタとは?なぜフィルタが必要か?については、   過去メルマガ記事を参照ください。   ⇒VOL.016「測定とフィルタ」   ⇒VOL.018「フィルタの種類と特徴」 まずは、弊社所有のあるΦ150 SiウエハのFlatnessについて、 ガウシアンフィルタを1mm、10mmと変えて解析した 2つの結果を並べて表示します。 plot ▲ガウシアンフィルタ 比較  【ガウシアンフィルタ1mm(左)】   :2.0mm以下の高周波形状をカットするローパスフィルタ  【ガウシアンフィルタ10mm(右)】   :10.0mm以下の高周波形状をカットするローパスフィルタ と言えます。 この時の解析ツリーを見てみます。 plot ▲測定解析ツリー 一回の測定データについて、  フィルタ幅1mmの時、TIR 8.609μm  フィルタ幅10mmの時、TIR 8.166μm  と、2つの異なるフィルタ条件における 測定結果を得ることができます。 一方で、高周波形状を得たい場合は、 下記のような微小うねり(MicroWaviness)解析も可能です。  *微小うねりとは?なぜ微小うねり解析が必要か?については、   過去メルマガ記事を参照ください。   ⇒VOL.011「加工表面に現れる『表面うねり』」 plot ▲微小うねり解析結果  【1mm以上2mm以下(左)】   :ガウシアンフィルタ1mm以上、2mm以下の    高周波数形状のみを取り出すハイパスフィルタ  【2mm以上10mm以下(右)】   :ガウシアンフィルタ2mm以上、10mm以下の    高周波数形状のみを取り出すハイパスフィルタ です。 この例では特に、 フィルタ条件による形状の違いが明らかですね。 以上、ほぼフィルタ設定のご紹介になってしまいましたが、 解析ツリーの見方に絡めてご説明をいたしました。 平面度測定機を使用開始されると、研究開発用途でない場合、 フィルタ条件を見直す、変更する機会はないかと思います。 このメルマガを通じて、 フィルタを視覚的に確認していただけたらと思います。 最後までお読みいただきありがとうございました。 それでは、またお会いしましょう。 -- Y.O ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

測定機に関する理論や解析技術の情報発信として、定期的にメールマガジンを無料配信しています。メルマガにご登録頂くと、最新情報やWEB未公開の情報をいち早くお手元にお届けすることができます。

メルマガご登録はこちらから