連載「知って得する干渉計測定技術!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ 解析ツリーの見方<入門編> 発行:エスオーエル株式会社 http://www.sol-j.co.jp/ 連載「知って得する干渉計測定技術!」 2019年09月25日号 VOL.153 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 干渉計による精密測定やアプリケーション例などをテーマに、 無料にてメールマガジンとして配信いたします。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ こんにちは。営業技術グループの落合です。 弊社の平面度測定機をお使いのお客様へ、 役に立つ情報をお送りしています。 今回ご紹介するのは、 解析ツリーの見方です。 長年お使いのお客様の中には、 「ツリーの構成が何を意味しているのか、分からずに使っている。」 「測定はできているが、本当は設定内容を知りたい。」 という方もいらっしゃるのではないでしょうか。 今日はごくごく簡単なご説明しますので、 参考になれば幸いです。 最もシンプルな解析ツリーは、下記です。 (TMS、UMS:測定解析ソフトウェアのバージョンにより、 2種類の画面表示があります。) TMS基本ツリー ▲TMS基本ツリー UMS基本ツリー ▲UMS基本ツリー 青枠部:データ取込み(リージョン) 赤枠部:測定項目(マップ) 基本は、 データ取込み(リージョン)は1つだけ、そのあと、 測定項目(マップ)は必要な分だけ追加していきます。 (上の例では「Flatness」) 1回データ取込(=つまり測定)を行い、 取得した平面度データから、いくつでも測定項目を出力できる というわけです。 例として、Flatnessについて、 エッジ除外EE1mm、EE10mmの 2つのマップを追加した場合を示します。 TMSマップ2つ ▲TMSマップ2つ UMSマップ2つ ▲UMSマップ2つ 測定条件を変えて結果を確認したい場合は、 並べて表示すると分かりやすいです。 (左:EE1mm、右:EE10mm) TMS結果 ▲TMS結果 UMS結果 ▲UMS結果 なお、この時の解析設定についても確認しましょう。 1mmと10mmでのエッジ除外量の差を確認できます。 UMSエッジ除外設定 ▲UMSエッジ除外設定 ツリーを追加できると、測定を何度も行うことなく、 1回の測定で複数条件の結果を比較することができます。 以上、簡単ですが 解析ツリーの見方についてご紹介しました。 多くの解析を行っている複雑なツリーも、 ベースは、「データ取込」と「測定項目」からできています。 最後までお読みいただきありがとうございました。 それでは、またお会いしましょう。 -- Y.O ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

測定機に関する理論や解析技術の情報発信として、定期的にメールマガジンを無料配信しています。メルマガにご登録頂くと、最新情報やWEB未公開の情報をいち早くお手元にお届けすることができます。

メルマガご登録はこちらから