斜入射干渉計の原理

斜入射干渉計の測定原理

FlatMaster-Wafer等に採用されている、斜入射干渉計の測定原理をご紹介します。

垂直入射干渉計の原理

垂直入射干渉計の測定原理

FlatMaster MSPに採用されている、垂直入射干渉計の測定原理をご紹介します。

白色干渉計の測定原理

白色干渉計の測定原理

FlatMaster Raに採用されている、白色干渉計の測定原理をご紹介します。

※ベアト社製X線CT装置TomoScopeの測定の仕組みはこちらからご確認下さい。
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