事例:吸着測定(TTV、LTV)

FlatMasterシリーズならTTV(GBIR)やLTV(SBIR)など、SEMI規格の測定項目全て対応可能です。

また、同じウェーハの測定値でも測定時の取得領域によって多少のばらつきが出ます。この対策として FlatMasterシリーズは測定領域を自動表示させる機能を加えました。

TTV測定データ(2Dプロット、3Dプロット、X断面、Y断面)
LTVサイト解析データ

LTVは緑が良品、赤が不良品です。
サイトサイズや閾値は任意設定可能。

測定可能機種

  • FlatMaster-Wafer
    FM-W
  • FlatMaster-Industrial to Wafer
    FM-ItoW
  • FlatMaster-Semi Auto Wafer
    FM-SAW
  • UltraSortⅡ
    US
  • FlatMaster MSP-Wafer
    FM MSP-W
  • ※FlatMaster-Industrial to Waferで測定する場合はオプションの機構が必要

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事例一覧

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フォトマスク

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