事例:非吸着測定(SORI、BOW、WARP)

FlatMasterシリーズならSORI、BOW、WARPとSEMI規格の測定項目全て対応可能です。

また縞感度を3段階に切り替える機能により、SORIが大きなウェーハ、例えば4インチで200um以上の SORIは測定実績があります。

SORI測定データ(2Dプロット、3Dプロット、X断面、Y断面)
約250umのSORI測定データ

縞感度を8um/fringeに設定。

測定可能機種

  • FlatMaster-Wafer
    FM-W
  • FlatMaster-Industrial to Wafer
    FM-ItoW
  • FlatMaster-Semi Auto Wafer
    FM-SAW
  • UltraSortⅡ
    US
  • FlatMaster MSP-Wafer
    FM MSP-W

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