粗さ(パターン付きウェーハ)

FlatMaster-Raという粗さ測定機は、アズスライス、ラップ、ポリッシュ全ての工程でお使い頂けます。 機構を工夫したことで、粗面では特に大変な縞探を簡単に出来るようになりました。
パターン面の構造解析、不良解析等にもお使い頂けます。
(使用レンズ = 10x, 測定視野 = 1.0 mm)

粗さデータ(2Dプロット、X断面、数値表示)

測定可能機種

  • FlatMaster-Ra
    FM-Ra

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事例一覧

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フォトマスク

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