粗さ(Ltウェーハ表面)

FlatMaster-Raという粗さ測定機は、アズスライス、ラップ、ポリッシュ全ての工程でお使い頂けます。 機構を工夫したことで、粗面では特に大変な縞探を簡単に出来るようになりました。
1nm以下の鏡面でも、問題無く測定出来ます。
(使用レンズ = 50x, 測定視野 = 0.2 mm)

粗さデータ(2Dプロット、X断面、数値表示)

測定可能機種

  • FlatMaster-Ra
    FM-Ra

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事例一覧

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フォトマスク

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