結晶欠陥の深さ

結晶が欠けている等の欠陥有無の確認に、FlatMaster-Raという粗さ測定機が使われています。
(使用レンズ = 50x, 測定視野 = 0.2 mm)

粗さデータ(2Dプロット、X断面、数値表示)
同じウェーハのTTVデータ

鏡面加工後に前工程で残ったキズの有無や、深さ等を測定するのに最適です。

測定可能機種

  • FlatMaster-Ra
    FM-Ra

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