フォトマスク平面度

コーティング付きマスクおよび、ペリクル付きマスクの測定が可能です。

平面度データ(2Dプロット、3Dプロット、X断面)

測定可能機種

  • UltraFlat
    UF

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事例一覧

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フォトマスク

三次元測定

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