事例:平面度(パターン付ウェーハ)

FlatMasterシリーズならパターン付ウェーハでも、TTVやSORI等問題なく測定出来ます。

パターン付ウェーハ測定データ(2Dプロット、3Dプロット、X断面、Y断面)

測定可能機種

  • FlatMaster-Wafer
    FM-W
  • FlatMaster-Industrial to Wafer
    FM-ItoW
  • FlatMaster-Semi Auto Wafer
    FM-SAW
  • UltraSortⅡ
    US
  • FlatMaster MSP-Wafer
    FM MSP-W

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