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UltraSortⅡ

ウェーハ用平面度測定機(自動機)

従来機の約2倍、最大で150枚/1hのスループットを実現。
ご要望に合わせた柔軟なカスタマイズが可能な次世代モデルです。

測定内容 平面度 平行度 高さ(厚み) 粗さ
測定対象 ウェーハ その他部品全般
操作方法 手動 半自動 自動
測定原理 斜入射干渉計 垂直入射干渉計 白色干渉計
保持方法 垂直保持 水平保持(テグス) 水平保持(ユニバーサルチャック)

特長

throughput

1従来機の約2倍のスループットを実現

 UltraSortⅡは1時間で最大150枚の吸着・非吸着同時測定(厚みを同時に測定する場合でも1時間で120枚)が可能です。
 全面一括最大25万点のデータを取得、外乱の影響にも強く、安定した高速・高精度測定を実現します。

校正証明書

2精度0.1μm以下!NISTトレーサブル

 トロペル社の平面度測定機は全ラインナップにおいて、繰り返し精度(Repeatability)だけでなく、校正原器に対する測定精度(Accuracy)も保証しています。米国立標準技術研究所・NIST規格に準拠した校正原器も標準で付属しているため、毎日精度を確認した上で安心して測定して頂けます。

wafer

3アズスライスからポリッシュまで対応

 光は入射角度によって反射率が大きく異なります。斜入射方式のFlatMasterでは反射率の高い角度を採用することで、鏡面だけでなく研削・切削面の測定にも対応しています。アズスライスからポリッシュまで幅広くお使い頂けます。

universalchuck

4交換不要のユニバーサルチャック採用

 UltraSortⅡは、ウェーハのサイズや吸着/非吸着が変わっても1つのチャックで測定できる、ユニバーサルチャックを採用しています。
 またカセットの増設、オンライン化、その他柔軟なカスタマイズが可能な次世代モデルです。

仕様

機種名 UltraSort150-Ⅱ UltraSort200-Ⅱ
測定原理 斜入射干渉計
ウェーハサイズ 2"~6" 4"~8"
測定波長 635nm 半導体レーザー
縞感度 1.8~6.5μm/fringeの中で1つご指定
XRAオプション(縞感度可変オプション) 1.8~6.5μm/fringeの中で3段階可変
測定データ数 最大約25万点
測定分解能 0.01μm
測定精度(Accuracy) 0.10μm以下
繰返し精度(Repeatability) 0.025μm(1σ)以下
スループット 吸着・非吸着 150枚/h
吸着・非吸着・厚み 120枚/h(オプション)
カセット数 標準は4個(オプションで8個、12個、16個が可能)
オンライン化 可(内容は要ご相談)
ロボットアーム 2本

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製品一覧

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