UF

UltraFlat

フォトマスク用平面度測定機

垂直入射に近い斜入射干渉計採用により、高感度な縞感度(Sensitivity : 0.4μm/fringe)を実現した、 超高平面度(平坦度)フォトマスク測定解析装置です。

測定内容 平面度 平行度 高さ(厚み) 粗さ
測定対象 ウェーハ フォトマスク
操作方法 手動 半自動 自動
測定原理 斜入射干渉計 垂直入射干渉計 白色干渉計
保持方法 垂直保持 水平保持(その他) 水平保持(ユニバーサルチャック)

特長

1高感度なSensitivity

 垂直入射に近い斜入射干渉計採用により、Sensitivity 0.4μm/fringeを実現しました。
 外部環境に強く、より高精度な測定が可能です。

2世界最高水準の保証精度

 Uncertainty : 30nm(λ/40)、20nm(λ/100)

3業界標準機

 コーティング付きマスクおよび、ペリクル付きマスクの測定が可能です。

仕様

機種名 UltraFlat
測定原理 斜入射干渉計
光源 He-Neレーザー
縞感度 0.4μm/fringe(38°)
解析項目 SEMI規格に適合

 ※精度等、最新の仕様はお問合せ下さい。

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