ScopeCheck

ScopeCheck

マルチセンサー式三次元測定機(標準モデル)

画像処理(カメラ)、レーザー、接触式プローブが搭載可能です。生産現場で多く使われています。

測定精度

ScopeCheck(標準モデル) VideoCheck(高精度モデル)
測定精度 S FB MB S - HA UA
E1xy 2.5+L/120 1.5+L/200 1.8+L/120 2.0+L/200 0.75+L/350 0.5+L/500 0.25+L/500
E2xy 2.9+L/100 1.9+L/150 2.0+L/100 2.5+L/175 0.95+L/350 0.7+L/400 0.50+L/300
E3 3.9+L/75 2.9+L/100 2.9+L/75 3.5+L/150 1.5+L/250 1.5+L/300 0.75+L/300

単位:μm

※Lには測定対象サンプルサイズを【mm】で代入。
 例:測定対象サンプルサイズが50mm、測定精度が0.25+L/500の場合、
   測定精度=0.25+50/500=0.25+0.1=0.35μm となります。

特長

マルチセンサー

1マルチセンサー式

 ベアト社独自の高精度画像処理センサーを標準搭載。ワンチャックで、図面の指定箇所を全て測定するというコンセプト。段取り替えがなく、高精度な測定を短時間に実行できます。

プローブ

2生産現場のニーズに対応

 安定性と精度向上のためにグラナイトベースを採用。

jisseki

3高度なエンジニアリング応用

 視覚的な比較:CADデータと実際の測定値の比較が容易にでき、カラーマップで視覚的に比較結果を捉えることができます。

仕様

ScopeCheck S

小型ながらも様々なプローブを搭載可能なコンパクトモデルです。

ScopeCheck S
ScopeCheck S
最大測定範囲 X 300mm 400mm
Y 200mm
Z 200mm
測定精度 E1xy (2.5+L/120)μm
E2xy (2.9+L/100)μm
E3 (3.9+L/75)μm
位置分解能 0.1μm
ステージ耐荷重 20kg(精度保証有は8kgまで)
温度環境 設定20℃±2K、勾配1K/h
案内方式 メカニカルベアリング

ScopeCheck FB

幅広いカスタマイズに対応できる定番モデル。Z軸を2本持つDZタイプも選択可能です。

ScopeCheck
ScopeCheck FB FB FB DZ
最大測定範囲 X 400~1500mm 400~1500mm
Y 400~1000mm 500~1000mm
Z 150~300mm 350mm
測定精度 E1xy (1.5+L/200)μm
E2xy (1.9+L/150)μm
E3 (2.9+L/100)μm
位置分解能 0.1μm
ステージ耐荷重 50kg(精度保証有は10kgまで)
温度環境 設定20℃±2K、勾配1K/h
案内方式 メカニカルベアリング

ScopeCheck MB

重量のある製品の測定に最適なモデルです。ステージ耐荷重1000kgまで精度保証しています。

ScopeCheck MB
ScopeCheck MB
最大測定範囲 X 500~2000mm
Y 600~3000mm
Z 450~1500mm
測定精度 E1xy (1.8+L/120)μm
E2xy (2.0+L/100)μm
E3 (2.9+L/75)μm
位置分解能 0.1μm
ステージ耐荷重 500~1000kg(精度保証有)
温度環境 設定20℃±2K、勾配1K/h
案内方式 メカニカルベアリング

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製品一覧

ベアト社製品

寸法測定用X線CT装置

マルチセンサー式三次元測定機

トロペル社製品

ウェーハ用平面度測定機

機械部品用平面度測定機

その他

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