FM-Ra

FlatMaster-Ra

粗さ測定機

非接触の表面粗さ測定機。独自の機構により、ワークの厚みや高さが変わっても連続的に測定することができます。

測定内容 平面度 平行度 高さ(厚み) 粗さ
測定対象 ウェーハ その他部品全般
操作方法 手動 半自動 自動
測定原理 斜入射干渉計 垂直入射干渉計 白色干渉計
保持方法 垂直保持 水平保持(その他) 水平保持(ユニバーサルチャック)

特長

ra_plot

1測定時間15秒の高速測定

 レーザー光を広げて全面一括で測定を行い、最大100万点のデータを取得できます。測定時間も短く、サンプルセットから解析まで15秒以下で完了します。また温度や振動など外部からの影響に強く、安定した高精度測定が可能です。

ra_stage

2乗せるだけの簡単オートフォーカス

 測定対象の高さや厚みに関わらず、常に干渉計と測定面の距離が保たれるので、ピントの合う位置を探す必要がありません。

wafer

3アズスライスからポリッシュまで対応

 鏡面だけでなく研削・切削面の測定にも対応しています。アズスライスからポリッシュまで幅広くお使い頂けます。

仕様

機種名 FlatMaster Ra
測定原理 白色干渉計
視野(標準) 1mm
視野(オプション) 0.2mm, 0.5mm, 3.2mm
測定データ数 最大約100万点
測定項目 Ra, Ry, Sa, St 他
繰返し精度(Repeatability) 0.02nm(1σ)
測定時間 サンプルセットから解析まで約15秒

お電話でのお問合せ

048-441-1133

受付時間:平日9:00~17:30

インターネットでのお問合せ

製品一覧

ベアト社製品

寸法測定用X線CT装置

マルチセンサー式三次元測定機

トロペル社製品

ウェーハ用平面度測定機

機械部品用平面度測定機

その他

※上記に記載のない機種はこちら
 からお問合せ下さい。