ベアト社製三次元測定機比較表

機種名1 ScopeCheck(標準モデル) VideoCheck(高精度モデル)
S FB FB DZ MB S - DZ HA HA DZ UA
最大測定範囲
(mm)2
X 300、400 400~1500 500~2000 250、400 400~2000 400~1000 400
Y 200 400~1000 500~1000 600~3000 125~200 400~1350 400~2000 400~1000 400~2000 400
Z 200 150~300 350 450~1500 250 200~800 300~600 200~600 300~600 250
測定精度
(μm)3
E1xy 2.5+L/120 1.5+L/200 1.8+L/120 2.0+L/200 0.75+L/350 0.5+L/500 0.25+L/500
E2xy 2.9+L/100 1.9+L/150 2.0+L/100 2.5+L/175 0.95+L/350 0.7+L/400 0.50+L/300
E3 3.9+L/75 2.9+L/100 2.0+L/75 3.5+L/150 1.50+L/250 1.5+L/300 0.75+L/300
位置分解能 0.1μm 0.05μm 0.01μm 0.001μm
ステージ耐荷重
(精度保証有)
20kg
(8kg)
50kg
(10kg)
500~1000kg
(同)
30~40kg
(4~8kg)
150kg
(同)
100kg
(同)
50kg
(同)
温度環境 設定20℃±2K
勾配1K/h
設定20℃±2K
勾配0.5K/h
案内方式 メカニカルベアリング エアーベアリング
装置外観 SC-S SC-FB SC-MB VC-S VC VC-HA VC-UA
  • 1 DZは、Z軸を2本持つタイプです。
  • 2 装置は全てカスタムメイドです。最大測定範囲、および搭載プローブをお選び頂けます。
  • 3 Lには測定対象サンプルサイズを【mm】で代入します。
      例:測定対象サンプルサイズが50mm、測定精度が0.25+L/500の場合、
        測定精度=0.25+50/500=0.25+0.1=0.35μm となります。
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