product

ウェーハ用平面度測定機

FM-W

FlatMaster-Wafer

ウェーハ用平面度測定機(手動機)

30秒で全面のデータを取得、測定精度0.1μm以下を保証します。
導入実績No.1のロングセラーモデルです。

  • 平面度
  • 手動機
  • 斜入射干渉計
  • 垂直保持
FM-ItoW

FlatMaster-Industrial to Wafer

ウェーハ用平面度測定機(SORI測定専用機)

置くだけで簡単にSORI測定ができます。
薄くて変形しやすいウェーハの測定で好評です。

  • 平面度
  • 手動機
  • 斜入射干渉計
  • 水平保持
FM-SAW

FlatMaster-Semi Auto Wafer

ウェーハ用平面度測定機(半自動機)

チャック交換不要のユニバーサルチャック採用。
将来的に自動機へのアップグレードが可能です。

  • 平面度
  • 半自動機
  • 斜入射干渉計
  • 水平保持

  • ユニバーサルチャック
US

UltraSortⅡ

ウェーハ用平面度測定機(自動機)

従来機の約2倍、最大で150枚/1hのスループットを実現。
ご要望に合わせた柔軟なカスタマイズが可能な次世代モデルです。

  • 平面度
  • 自動機
  • 斜入射干渉計
  • 水平保持

  • ユニバーサルチャック
FM MSP-W

FlatMaster MSP-Wafer

高精度ウェーハ形状・厚み測定機

TTV、SORIの測定に加えて高精度な厚み測定も可能なモデル。
膜厚分布や研磨量を全面データで解析できます。

  • 平面度
  • 厚み
  • 手動機
  • 垂直入射干渉計

  • 水平保持
  • ユニバーサルチャック

機械部品用平面度測定機

FM-I

FlatMaster-Industrial

機械部品用平面度測定機

ワークを置くだけで全面一括平面度測定。
簡単操作で開発から量産品の検査まで、幅広くお使いいただいています。

  • 平面度
  • 斜入射干渉計
FM MSP

FlatMaster MSP

機械部品用平面度・平行度・高さ測定機

平面度に加え、平行度や深さ(高さ)の測定が可能なモデル。
段差や奥まった面があるワークに有効です。

  • 平面度
  • 平行度
  • 深さ(高さ)
  • 垂直入射干渉計

その他

FM-Ra

FlatMaster-Ra

粗さ測定機

非接触の表面粗さ測定機。独自の機構により、ワークの厚みや高さが変わっても連続的に測定することができます。

  • 粗さ
  • 白色干渉計
UltraFlat

UltraFlat

フォトマスク用平面度測定機

フォトマスク平面度測定の専用機。0.4μm/fringeの高感度な縞感度と6nmの高精度を実現した、業界標準機です。最先端技術のため、最新の情報は直接お問合せ下さい。

  • 平面度(フォトマスク)
  • 斜入射干渉計

お電話でのお問合せ

048-441-1133

受付時間:平日9:00~17:30

インターネットでのお問合せ

製品一覧

ベアト社製品

寸法測定用X線CT装置

マルチセンサー式三次元測定機

トロペル社製品

ウェーハ用平面度測定機

機械部品用平面度測定機

その他

※上記に記載のない機種はこちら
 からお問合せ下さい。