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【 記 事 】

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TomoScopeの較正と補正 
 
発行:エスオーエル株式会社 
http://www.sol-j.co.jp/ 
 
連載「測定の新常識!?SOLがお伝えするノウハウ!」 
2016年12月7日号 VOL.037 
 
平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 
三次元測定機やアプリケーション例などをテーマに、 
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こんにちは。 
エスオーエルの永田です。 
 
12月になりました。 
いつの間にか年末です! 
 
エスオーエルでは、11〜12月は展示会の出展ラッシュです。 
特に、X線CTでの寸法測定機であるTomoScopeは、 
たいへんご好評いただいております! 
 

 
 
今回は、TomoScopeの較正と補正についてご説明します。 
 
ちなみに、 
広辞苑で較正と補正を調べると、以下のように記載されていました。 
 
較正(calibration) 
実験に先立って、測定器の狂い・精度を、基準量を用いて正すこと 
 
補正(correction) 
1.おぎないただすこと 
2.実測において、外部的原因による誤差を除き、真に近い値を求めること 
 
つまり、較正は測定器自体の測定値を正すこと、 
補正は、温度やその他諸々の外部的原因による誤差を考慮して正すこと、 
といった意味であると解釈できます。 
 
さて、TomoScopeの話に戻ります。 
 
まず、組立て時に、 
グラススケール(ガラススケール)という、ガラスにメモリが付いたスケールで、 
各軸および、2軸、3軸を組み合わせた場合の較正を行います。 
 
 
このスケールは三次元測定機を組立てる際にも用いられます。 
 
そう、TomoScopeは三次元測定機なのです! 
 
もちろん、 
ご要望があれば、非接触、接触ともに各種センサーを搭載できます。 
 
グラススケールでの較正は、製造元のベアト社でおこなわれます。 
立ち上げ時にも現場でグラススケールの確認をして、 
必要があれば較正をやり直します。 
 
 
測定する直前におこなうのは、 
倍率ごとに実施する較正と、明暗補正があります。 
 
倍率ごとに実施する較正は、 
X線CTで映し出される像の、大きさの較正を行っています。 
 
TomoScopeでは「Scalib(エスキャリブ)」と言われています。 
(Sensor calibration の略) 
 
TomoScopeは三次元測定機なので、各軸を動かすことで、 
測定物がどのくらい動いたか、 
X線管や検出器がどれくらい動いたか、 
を0.1umの分解能で検出することができます。 
 
そのため、 
検出器に映し出された像の較正が 
簡単にできるのです! 
 
 
明暗補正では、 
各ピクセルごとのX線に対する感度のムラを測定し、 
ピクセルが均一に反応するように補正します。 
 
全てのピクセルが正しく反応するとは限らないので、 
予め、機能しなくなってしまったピクセルは無効にし、 
無効にしたピクセルのデータは、その周辺のピクセルのデータから 
補間できるようにしてあります。 
 
 
測定前に行う較正・補正作業は以上です。 
得られた測定データを補正する機能も、もちろんございます。 
 
一般的な補正機能や、実験値に基づいた補正機能がございます。 
こちらは次の機会にご紹介します! 
 
 
本日はこの辺で。 
最後までお読みいただき、ありがとうございました。 
 
-- 
永田睦美 
  
  
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