連載「測定の新常識!?SOLがお伝えするノウハウ!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ Tropel社発・FM-Raとは! 発行:エスオーエル株式会社 http://www.sol-j.co.jp/ 連載「測定の新常識!?SOLがお伝えするノウハウ!」 2014年7月2日号 VOL.005 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 無料にてメールマガジンを配信いたしております。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ みなさんこんにちは! 外はすっかり暑くなって、気付いたらもう1年の半分が終わり、 7月になってしまいました。 このメルマガを作成している頃、 世間はワールドカップ一色でした。 私はあまりサッカーに詳しくないですが、周囲は 熱くなって応援している人ばかりなので、何となく引っ張られて 応援していました(笑) 個人的には、ワールドカップよりもプロ野球交流戦の方が 気になって気になって仕方が無かったのが正直な所です(笑) さて、ここで1つどうしても言いたいことがあります。 最近メジャーリーグで日本人選手が活躍する姿が たびたび注目されています。 同じ日本人としてとても喜ばしいのですが、その反面、 日本のプロ野球が「もう落ち目なんじゃないか」と 言われてしまうのがとても悲しいです。 視聴率も下がり、放送枠も減ってしまってはそう思われても 仕方がないのかなとは思います。 ですが、人生や生活を懸けて必死にプレーをする選手を 見るのはワクワクするし、感動することだってあります。 このメルマガを読んでくれた方は、騙されたと思って ぜひ一度球場に試合を見に行ってみてください! 規模は違えどワールドカップと同じように、 興奮や感動すること間違いなしです! いやー熱くなってしまいました(笑) それでは、本題に入ります! 今回のテーマは「Tropel社発・FM-Raとは!」ということで、 粗さ測定機・FM-Raについて書いていきます。 前回の締めの一言で 「次号ではまた前回までのようにFlatMasterについて 書いていきたいと思います!」 と宣言しましたが、予定(気分?)がコロコロ変わってしまい すみません。。 何度か紹介しているFlatMasterでは、SORIやTTVなど 平面度の測定をする際に用いる装置でしたが、 FM-Raは、粗さの測定に特化した装置になっています。 一般的に表面粗さを測定する装置は、以下の2つに大別出来ます。 ①接触式粗さ測定機 →先端球5μmのプローブで、測定面を引っ掻きながら測定。 ②非接触式粗さ測定機 →レーザー光や白色光を用いて、測定物には触れずに測定。 FM-Raは②に当てはまります。 まず測定原理を紹介すると・・・ 光源から出た白色光が半透鏡で波面分割し、 サンプル表面からの反射光と、半透鏡からの反射光になります。 この2つの反射光の光路長が等しくなった時のみ干渉縞が見え、 その干渉縞の動きをCCDカメラで捉えています。 従来の粗さ測定機は、測定面の上からセンサーを下に向けて 配置するタイプが一般的でした。 従って、本来サンプルの厚みや反りが変わる度に 測定面とレンズの距離が変わるので、その都度顕微鏡のように 手動でフォーカスを合わせなければいけないのです。 しかし、FM-Raではセンサーがサンプルの下に 上向きに配置されており、常に測定面基準になるため、 サンプルの厚みや反りによって フォーカスを再調整する必要がありません。 さらに、自動で対物レンズを垂直に動かす 「オートフォーカス機能」によって、面倒な干渉縞探しの時間も 短縮できます。 なぜ干渉縞探しが面倒かと言うと、鏡面ウェーハの場合、 フォーカスが合う領域は僅か3μm程度なので、 この領域を見つけるのに10分以上掛かってしまうことがあります。 これは白色干渉計の課題の一つでした。 このような課題を解決したのが、 オートフォーカス機能を持つFM-Raなんです! 今回はここまで! 分かりづらい部分もあったかと思いますが、最後まで読んでいただき、 ありがとうございました。 このFM-Raは発売を開始したのが昨年秋頃なので、 まだまだこの業界では新参者です。 なので、このメルマガをきっかけに多くの人に 存在を知ってもらえたらと思います。 これから気温がグングン上がっていくと思われますので、 熱中症対策は万全に! -- H.I ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

測定機に関する理論や解析技術の情報発信として、定期的にメールマガジンを無料配信しています。メルマガにご登録頂くと、最新情報やWEB未公開の情報をいち早くお手元にお届けすることができます。

メルマガご登録はこちらから