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垂直入射方式とは

発行:エスオーエル株式会社
http://www.sol-j.co.jp/

連載「測定の新常識!?SOLがお伝えするノウハウ!」
2014年6月4日号 VOL.004

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みなさんこんにちは!

今回で4回目のメルマガ配信となるのですが、
先日ある嬉しい出来事がありました。

それは、あるお客様からの電話に応対した際に
「いつも楽しく読ませてもらってます!」
と、言っていただいた事です。

多くの方に配信されているのは知っていましたが、
直接感想を聞けたのは初めてだったので、
「書いてて良かった〜〜」と思いました!
これからも張り切って書いていきますので、
ぜひ継続して読んでいってください!


今回のテーマは「垂直入射方式とは」です。

弊社ではこれまで紹介してきた斜入射方式の
FlatMaster seriesの他にも、
垂直入射方式のFlatMaster MSPを扱っています。

前回までは主に斜入射のFlatMasterについて書きましたが、
今回は垂直入射のMSPについて触れたいと思います。

MSPは垂直入射方式のフィゾー干渉計で、
平面度はもちろんのこと、
最大300mmまで深さのある測定物の
段差も測定可能です。


さて、入射角度θの場合、縞感度(Sensitivity)は、
S=λ/2cosθ
で表されますが、
垂直入射の場合は入射角が0°なので、
cos 0°=1
→ S=λ/2・・・
が、MSPの縞感度となります。


干渉の原理は、1本のレーザーが参照平面で反射する
Reference Beamと、サンプルの測定面で反射する
Test Beamに分かれます。
この2つが互いに干渉し、干渉縞を作ることになります。

Test Beamは、測定面と参照平面の距離(Gap)である G を
往復するので、光路長差は「2G」になります。

また、光路長差がλ(位相差360°)になるとき、
つまり 2G=λ のときの
Gapの大きさが、縞感度となります。

Gapの単位は[μm]、縞感度の単位は[μm/fr]ですが、
位相差360°が干渉縞1本分(1 [fr])に対応しますから、
干渉縞1本分という条件を含んだ 2G=λ
から求まる G=λ/2 のGを縞感度Sと読み替えて良く、
S=λ/2 であることが分かります。

これは、一般的なθでの縞感度の式にθ=0°を代入して得た式
と一致しています。


今回は垂直入射について発信してみましたが、
次号ではまた前回までのようにFlatMasterについて
書いていきたいと思います。
(予定は変わるかもしれませんが・・・)

というわけで、今回は以上になります。
最後まで読んでいただき、ありがとうございました!

--
H.I


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