連載「測定の新常識!?SOLがお伝えするノウハウ!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ 垂直入射方式とは 発行:エスオーエル株式会社 http://www.sol-j.co.jp/ 連載「測定の新常識!?SOLがお伝えするノウハウ!」 2014年6月4日号 VOL.004 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 無料にてメールマガジンを配信いたしております。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ みなさんこんにちは! 今回で4回目のメルマガ配信となるのですが、 先日ある嬉しい出来事がありました。 それは、あるお客様からの電話に応対した際に 「いつも楽しく読ませてもらってます!」 と、言っていただいた事です。 多くの方に配信されているのは知っていましたが、 直接感想を聞けたのは初めてだったので、 「書いてて良かった~~」と思いました! これからも張り切って書いていきますので、 ぜひ継続して読んでいってください! 今回のテーマは「垂直入射方式とは」です。 弊社ではこれまで紹介してきた斜入射方式の FlatMaster seriesの他にも、 垂直入射方式のFlatMaster MSPを扱っています。 前回までは主に斜入射のFlatMasterについて書きましたが、 今回は垂直入射のMSPについて触れたいと思います。 MSPは垂直入射方式のフィゾー干渉計で、 平面度はもちろんのこと、 最大300mmまで深さのある測定物の 段差も測定可能です。 さて、入射角度θの場合、縞感度(Sensitivity)は、 S=λ/2cosθ で表されますが、 垂直入射の場合は入射角が0°なので、 cos 0°=1 → S=λ/2・・・① が、MSPの縞感度となります。 干渉の原理は、1本のレーザーが参照平面で反射する Reference Beamと、サンプルの測定面で反射する Test Beamに分かれます。 この2つが互いに干渉し、干渉縞を作ることになります。 Test Beamは、測定面と参照平面の距離(Gap)である G を 往復するので、光路長差は「2G」になります。 また、光路長差がλ(位相差360°)になるとき、 つまり 2G=λ のときの Gapの大きさが、縞感度となります。 Gapの単位は[μm]、縞感度の単位は[μm/fr]ですが、 位相差360°が干渉縞1本分(1 [fr])に対応しますから、 干渉縞1本分という条件を含んだ 2G=λ から求まる G=λ/2 のGを縞感度Sと読み替えて良く、 S=λ/2 であることが分かります。 これは、一般的なθでの縞感度の式にθ=0°を代入して得た式① と一致しています。 今回は垂直入射について発信してみましたが、 次号ではまた前回までのようにFlatMasterについて 書いていきたいと思います。 (予定は変わるかもしれませんが・・・) というわけで、今回は以上になります。 最後まで読んでいただき、ありがとうございました! -- H.I ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

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