当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

メールマガジン記事

【 概 要 】

エスオーエルでは、精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 無料にてメールマガジンを配信いたしております。 Webでは公開されない情報があることや、最新情報をいち早くお届けするためにも、 メルマガ会員登録をおすすめしております。

【 記 事 】

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇

FlatMasterの縞感度

発行:エスオーエル株式会社
http://www.sol-j.co.jp/

連載「測定の新常識!?SOLがお伝えするノウハウ!」
2014年5月7日号 VOL.003

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇



みなさんこんにちは!

4月に入ってすぐに埼玉では桜が咲き始め、
「花見でもするかー!」と思った矢先に雨が降ったり風が吹いたりで
あっという間に散ってしまいました。。。
やっぱり思い付いたらすぐに行動に移さないとダメですね(笑)

また、先日大学時代の友人と久しぶりに集まって
お酒を飲みに行ったのですが、そこでは入社3年目で出世した人、
転職した人、退職して1年間独り旅(?)に出ていた人等
様々でした。
学生時代に単位を取れずに苦しんでいた人が出世したり、
真面目にコツコツやってきた人が苦労したり、仕事って
難しいなぁとしみじみ思いました。

私がどっちのタイプだったのかはこの際置いておいて、
早速本題に入りましょう!(笑)


今回のテーマは「FlatMasterの縞感度」についてです。

縞感度についてお話する前に、VOL.001でも少し触れましたが、
FlatMasterという装置の仕組みについて簡単に説明します。

FlatMaster(以下FM)は、斜入射方式で測定を行っています。
仕組みは、干渉計内部から出るレーザー光を測定面に向けて
斜めに照射します。
そして、プリズム表面で反射した光と測定物の表面で反射した
光の干渉を見ていることになります。

光を干渉させるためには、
^譴弔慮波を分割させる事。
∧割されたそれぞれの光波が平行に進む事。

以上の2つの条件を満たす必要があります。
FMでは、プリズムの上面で光波を2分割し、プリズム上面及び
サンプル表面で反射した光が平行に進むため、光が干渉します。

その結果、干渉縞というウェーハ表面の凹凸を見る、等高線の
ようなものが生じます。
レーザーの入射角度を微小に変化させると、干渉縞が
流れるような動きを見せ、この明暗の変化をCCDカメラで捉え、
サンプル表面の形状を測定します。
この動きをフリンジスキャンといいます。

そして縞感度(Sensitivity)とは、干渉縞1周期で何μmの
勾配があるかを示しています。

FlatMaster XRAでは、縞感度を1.5、5、8μm/friの3段階に
変える事が出来ます。
その際、入射角度は78°、86.3°、87.7°に変えています。
→入射角度を大きくし反射率を上げることで、測定面が粗い
 ウェーハも測定可能になります。
※入射角度を90°(水平)に近付ける事が出来るのは、
 Tropelの干渉計だけです!

縞感度が1.5〜8μm/friまで可変という事は、つるつるした
鏡面品から面の粗いサンプル、またSORIの大きなウェーハまで
幅広く測定が出来るという事です。

今回はFlatMasterが如何に高性能で、幅広く需要のある製品で
あるかという事を書いてみました!

最後まで読んでくださり、ありがとうございました。

--
H.I


●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━
┣╋╋○ エスオーエル株式会社  ( SOL )
┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1
┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678
● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp
   --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで
トップへ戻る