連載「測定の新常識!?SOLがお伝えするノウハウ!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ FlatMasterの縞感度 発行:エスオーエル株式会社 http://www.sol-j.co.jp/ 連載「測定の新常識!?SOLがお伝えするノウハウ!」 2014年5月7日号 VOL.003 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 無料にてメールマガジンを配信いたしております。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ みなさんこんにちは! 4月に入ってすぐに埼玉では桜が咲き始め、 「花見でもするかー!」と思った矢先に雨が降ったり風が吹いたりで あっという間に散ってしまいました。。。 やっぱり思い付いたらすぐに行動に移さないとダメですね(笑) また、先日大学時代の友人と久しぶりに集まって お酒を飲みに行ったのですが、そこでは入社3年目で出世した人、 転職した人、退職して1年間独り旅(?)に出ていた人等 様々でした。 学生時代に単位を取れずに苦しんでいた人が出世したり、 真面目にコツコツやってきた人が苦労したり、仕事って 難しいなぁとしみじみ思いました。 私がどっちのタイプだったのかはこの際置いておいて、 早速本題に入りましょう!(笑) 今回のテーマは「FlatMasterの縞感度」についてです。 縞感度についてお話する前に、VOL.001でも少し触れましたが、 FlatMasterという装置の仕組みについて簡単に説明します。 FlatMaster(以下FM)は、斜入射方式で測定を行っています。 仕組みは、干渉計内部から出るレーザー光を測定面に向けて 斜めに照射します。 そして、プリズム表面で反射した光と測定物の表面で反射した 光の干渉を見ていることになります。 光を干渉させるためには、 ①一つの光波を分割させる事。 ②分割されたそれぞれの光波が平行に進む事。 以上の2つの条件を満たす必要があります。 FMでは、プリズムの上面で光波を2分割し、プリズム上面及び サンプル表面で反射した光が平行に進むため、光が干渉します。 その結果、干渉縞というウェーハ表面の凹凸を見る、等高線の ようなものが生じます。 レーザーの入射角度を微小に変化させると、干渉縞が 流れるような動きを見せ、この明暗の変化をCCDカメラで捉え、 サンプル表面の形状を測定します。 この動きをフリンジスキャンといいます。 そして縞感度(Sensitivity)とは、干渉縞1周期で何μmの 勾配があるかを示しています。 FlatMaster XRAでは、縞感度を1.5、5、8μm/friの3段階に 変える事が出来ます。 その際、入射角度は78°、86.3°、87.7°に変えています。 →入射角度を大きくし反射率を上げることで、測定面が粗い  ウェーハも測定可能になります。 ※入射角度を90°(水平)に近付ける事が出来るのは、  Tropelの干渉計だけです! 縞感度が1.5~8μm/friまで可変という事は、つるつるした 鏡面品から面の粗いサンプル、またSORIの大きなウェーハまで 幅広く測定が出来るという事です。 今回はFlatMasterが如何に高性能で、幅広く需要のある製品で あるかという事を書いてみました! 最後まで読んでくださり、ありがとうございました。 -- H.I ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

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