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ウェーハ測定項目について

発行:エスオーエル株式会社
http://www.sol-j.co.jp/

連載「測定の新常識!?SOLがお伝えするノウハウ!」
2014年4月2日号 VOL.002

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
三次元測定機やアプリケーション例などをテーマに、
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みなさんこんにちは!

本題に入る前に、少しだけ個人的な事を書かせてください。

私は野球観戦が好きで、たまに球場に観に行く事もあるのですが、
その中でも昨年6年ぶりにセリーグ最下位を脱出した某チームを応援しています。

会社の先輩からは「何でそんな弱いチームを??」なんて言われたりもしますが、
今は弱いからこそこれから強くなっていく楽しみがある!と思っています。
共感して頂けると嬉しいのですが(笑)


では、本題に入りましょう!
2回目のテーマは
「ウェーハ測定項目について」になります。

FlatMasterでは単に平面度という1項目を測るだけではなく、
様々な測定項目に対応できます。
今回はお客様からよく依頼される項目を紹介します。

○全面吸着
・グローバル解析
【TIR】
 3点基準平面からの最高点と最低点までの距離の合計。
【NTV】
 最小二乗平面からの最高点と最低点の距離の合計。
【TTV】
 ウェーハ裏面からの最低点を最高点から差し引いた値。厚みムラ。

・サイト解析
【LTIR】
 サイト毎の表面基準面からサイト表面上の最高点と最低点までの距離の合計。
【LTV】
 ウェーハ裏面から各サイト表面上の最高点と最低点までの高さの差。
 各サイト毎の厚みムラ。


以上の5項目は、ウェーハの裏面を全面吸着させて測定した場合の項目になります。

グローバル解析とは、全面で測定結果を表示するものです。
サイト解析では、測定結果を各サイト毎に判定し、
任意の大きさに指定したチップサイズ毎に
(平面度が)合格なら緑、不合格なら赤く表示されます。
また、平面度のスペックも任意に設定可能です。 


○非吸着
【SORI】
 最小二乗平面からウェーハ表面上の最高点と最低点までの距離の合計。
【WARP】
 3点基準平面からウェーハ表面上の最高点と最低点までの距離の合計。
【BOW】
 3点基準平面からウェーハ中心までの高さ。

以上の3項目は、ウェーハ裏面の3点または1点を吸着し、元の形状を変えないように
測定した場合のものです。


全面吸着の場合は、ウェーハの大きさに合わせたチャックが必要になります。
非吸着の場合はUniversal Bow Chuckが必要になりますが、これは
1台で 2〜8 インチ に対応しているので、複数のサイズのウェーハを扱っている
企業様にも便利に使ってもらっています。


このように、FlatMasterでは様々な項目でウェーハを測定する事ができるのです!

このメルマガでは今後も「FlatMasterってすごい!」
と何となくでも感じてもらえるよう、
皆様にとって良い情報を提供していけるようにします。

今回は以上になります。
最後まで読んで頂きありがとうございました!

--
H.I


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