連載「知って得する干渉計測定技術!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ 「Cスライス」での平面度評価について 発行:エスオーエル株式会社 http://www.sol-j.co.jp/ 連載「知って得する干渉計測定技術!」 2019年07月24日号 VOL.152 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 干渉計による精密測定やアプリケーション例などをテーマに、 無料にてメールマガジンとして配信いたします。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ こんにちは。営業技術グループの落合です。 今回も、 弊社の平面度測定機をお使いのお客様へ、 役に立つ情報をお送りしたいと思います。 今回ご紹介するのは、 「Cスライス」での平面度評価です。 「Xスライス」「Yスライス」は既に 多くのお客様が使用されていると思います。 XYスライスプロット 取得した平面度データを、 あるX方向、Y方向でスライスした断面図です。 一方、 FlatMasterシリーズでは、 任意の同心円位置でスライスした断面図も表示できます。 これが「Cスライス」です。 Cスライスプロット ここでは、 「Cスライス」が有効なケースを2つご紹介します。 (1)ウエハ  特にグラインディング後のうねり形状を確かめたい場合、  同心円の方向でスライスすることで、加工痕が見やすくなります。 (2)リング状の機械部品  シールなどリング状のサンプルの場合、  X方向、Y方向では端面のエッジ形状が良く見えます。  しかし、X方向、Y方向のみでは、  平面度情報としては少し物足りないです。   例えば、Φ100mm、幅5mmのリングですと、   Xスライスでは幅5mmの情報しか得られません。  そこで、「Cスライス」です。  同心円上での平面度を評価できます。  Φ98mm、Φ97mm 等のまるまる一周を確かめられます。  Cスライスでのレンジ(Max-Min値)  そのものが有効な平面度値となり得ます。 以上、簡単ですが 「Cスライス」についてご紹介しました。 思い当たるサンプルを測られる際には、 ぜひご活用いただけますと幸いです。 弊社の平面度測定機では、 レーザー干渉計を使用した 「全面一括測定」を強みとしております。 全面のデータが取得できた上で、さらに どの面について評価するか、どの情報を取り出すかで、 より有効な評価ができるかが変わります。 気になる評価方法がございましたら、 弊社エスオーエルへご相談ください。 最後までお読みいただきありがとうございました。 それでは、またお会いしましょう。 -- Y.O ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

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