連載「知って得する干渉計測定技術!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ 新しいデモ機 FlatMaster-Semi Auto Wafer 発行:エスオーエル株式会社 http://www.sol-j.co.jp/ 連載「知って得する干渉計測定技術!」 2019年06月26日号 VOL.151 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 干渉計による精密測定やアプリケーション例などをテーマに、 無料にてメールマガジンとして配信いたします。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ こんにちは。 今日は、エスオーエルの変化についてお話ししようと思います。 今年度に入ってから、エスオーエルに5人の方が入社してこられました。 また、これから3人入社することが決まっています。 年齢も、出身国もさまざまです。 中国人の方に中国のどこら辺の出身ですか?と尋ねると、 中国の国の形を鳥に例えて、鳥のお腹ら辺、頭ら辺などと 表現するということが判明しました。 中国は広いですので、みんながみんな鳥で表現するかはわかりませんが。。。 中国と比べると凄くちっぽけな話(面積で言うと、約1/1500の話)になりますが、 私の出身地の群馬県も、県の形を鶴に例えます。 例えば、暑くて有名な館林市は、鶴のクチバシにあります。 群馬県民は全員(私の感覚だと99.9%)、群馬県を鶴だと思っています。 『上毛かるた』という、群馬県民のほとんど(私の感覚では95%)が、 読み札を暗記しているかるたがありますが、 そこでも「つる舞う形の群馬県」という札として登場し、 そして、札の中でも特別扱いを受けています。 かるた開始時に2回空読みされ、そして最終的に取った札の枚数が同じな場合、 この札を取ったほうが勝ち!というルールがあります。 いつのまにか、地元トークになってしまいましたが、 お仕事の話に戻ろうと思います。 もう一つの変化です。 新しくデモ機が入ってきました!! FlatMaster-Semi Auto Waferという機種です。 FlatMaster-Semi Auto Wafer 製品ページ UltraSortという機種の、自動搬送ロボットがついていないバージョンです。 メルマガで何度か登場してきたと思いますが、再度ご紹介します。 特徴は下記のとおりです。 1. ウェーハ測定用 2. ウェーハ水平置き 3. ユニバーサルチャック採用 → 1台で平面度(SORI等)、厚みむら(TTV等)測定対応 → 1台で2, 4, 5, 6, 8インチ対応 ※測定項目、ウェーハサイズによって  チャックを変える必要はありません。 4. SORI測定完了後、続けて厚みむらを測ることが可能。 →1枚あたり約20秒(SORI+TTV)で測定可能です。 5. TTV測定のRepeatabilityの向上 →現在、具体的な値を言えなくてもどかしいのですが、  FlatMasterと比較し、チャック機構の違いにより、  どのくらいReperabilityが向上したのか、  デモ機でテストしてみようと思っています。 6. 自動搬送ロボットを後から追加しUltraSortにすることも可能 Semi Autoってどこら辺がAuto?と問われますと、 レシピを選び、チャックにウェーハを乗せるところ (アライメント用の治具を使います)は人間がやります。 プリズムに対するチャックのギャップ調整、 非吸着(SORI測定時)、吸着(TTV測定時)の切り替えは 自動で行なってくれます。 FlatMasterでは、様々なインチサイズの ウェーハの厚みムラを測定する場合には、 サイズごとにチャックを購入してもらう必要があります。 チャックを揃えるより、SemiAutoを購入したほうが 安い場合もあります。 気になる方はお問い合わせをお待ちしております。 E.N ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

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