連載「知って得する干渉計測定技術!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ エッジ除外機能について 発行:エスオーエル株式会社 http://www.sol-j.co.jp/ 連載「知って得する干渉計測定技術!」 2019年05月22日号 VOL.150 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 干渉計による精密測定やアプリケーション例などをテーマに、 無料にてメールマガジンとして配信いたします。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ こんにちは。営業技術グループの落合です。 今回は、 弊社の平面度測定機をお使いのお客様へ、ずばり、 解析機能である 「エッジ除外」 について、知っているとちょっと便利な 情報をお送りしたいと思います。 最も基本的な設定ですから、 「エッジ除外なんて、いつも使っているよ。  今回のメルマガに、新しい情報はないな。」 「Edge Exclusion の事だから、  EE2mmとかEE3mmって表すこともあるよね。」 「なぜEJ(エッジ除外)ではなく  EEと略すのか・・・?!Edge Exclusionとは!!謎が解けた。」 (私は、なぜEEなのか疑問でした。) なんて声が聞こえてきそうです。 そんなエッジカット機能ですが、 外周、または内周から一律に2mmや3mmの長さをカットする  『Erosion』 以外にも選択肢があるのを、 ご存じでしょうか。  1.Erosion  2.Round  3. Square  4. RoundCA  5. RectangularCA の5種類があります。 1~4は、どのような場合に使われのでしょうか? 例えば、 Φ150のウエハを測定するとしましょう。 EE3mmを設定した場合、出力されるプロット画像は Φ150-3×2=Φ144mmです。 しかし、今回測定したウエハは、 試作品のため端面に急勾配があり、 取得できた外周形状は波形状でした。 こんな時、「1. Erosion」で3mm設定を使っていると、 外周部から一律3mmカットが適用されます。 つまり、波形状がそのまま出力されてしまいます。 どのウエハも、正円で統一して評価できたらいいのに、 あきらめるしかないのか・・・ ・・・こんな時に使いたいのが、  4. RoundCA です。  『センター基準で入力値mmを直径とした円の外周を除外』 することができます。 RoundCA 144mm を設定すれば、目的とする正円形状が得られます。 (簡単にきれいな正円にカットできます。) 同様に、  5. RectangularCA では、  『センター基準で指定した縦横辺mmの外周を除外』 することができます。 (簡単にきれいな長方形にカットできます。) 他に、  2.Round  3. Square はそれぞれ、  『入力値mmを用いて、円形になるようエッジを除外』  『入力値mmを用いて、正方形になるようエッジを除外』 となります。 以上、 ウエハを測られるお客様にも、 機械部品を測られるお客様にも使える、 エッジ除外機能のご案内でした。 最後までお読みいただきありがとうございました。 それでは、またお会いしましょう。 -- Y.O ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

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