連載「知って得する干渉計測定技術!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ FlatMaster-MSPの測定精度 発行:エスオーエル株式会社 http://www.sol-j.co.jp/ 連載「知って得する干渉計測定技術!」 2017年3月29日号 VOL.125 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 無料にてメールマガジンを配信いたしております。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ こんにちは。 寒かったり、暖かかったり、人間も桜も大変ですね。 桜はいつ見れるのでしょうか?? 私は少し前に実家へ帰った時、風邪を移されました。 家族全員風邪をひいたらしいです。 皆さんは気を付けて下さいね。 今回はFlatMaster-MSPの測定精度についてお話します。 MSPは高さ(段差)測定が可能な干渉計です。 前にもお話していると思いますが、 もちろん平面度や平行度も測定出来ます。 凄いのは測定精度です。 測定精度は約6.5㎜のキャリブレーションデバイスの高さを 置き直し無しで25回測定して、 ①測定精度:(25回の測定値の平均)-(NISTの認証値)=0.25um ②繰り返し精度:25回の測定値のバラツキ(1σ)=0.1um です!! 干渉計ですので、①、②の値だけをみてビックリする ということはないかも知れませんが、 通常干渉計で測定出来る高さは平面度のようなレベルです。 弊社で扱っている平面度測定機FlatMasterであれば、 数百ミクロン程度です。 6.5mmという大きな高さに対して、 ①、②のような高精度保証が出来るのは世界でもMSPだけです!!!! つくづく凄い装置を使っているな、、、、と実感しました。 (装置に使われている可能性が高いですが、、悲) 高さ(段差)を高精度で測定したい!! と考えておられる方がいらっしゃいましたら是非ご相談ください。 お役に立てますと嬉しいです!!! 短いですが、ありがとうございました。 -- 野中 ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

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