連載「知って得する干渉計測定技術!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ 粗さ測定機FM-Raと回折限界 発行:エスオーエル株式会社 http://www.sol-j.co.jp/ 連載「知って得する干渉計測定技術!」 2016年12月28日号 VOL.121 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 無料にてメールマガジンを配信いたしております。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ こんにちは、並木です。 そういえば、先月は並木ごと書き忘れました。やっちまった。。。 それを書くためにメルマガ書いていると言ってもいいのに(笑) 冗談です。 今回はなみきごと、かきます。 先月にメガネを新調しました、少しスタイリッシュに!と思い、 丸い縁のメガネを購入しました。着けた時の旦那さんの一言 「滝廉太郎だねっ」、、、。まぁいいですよ。滝廉太郎は、 日本の代表的な作曲家だもの。めげずに今もかけてます。 では、本題に入りましょう。 今回は粗さ測定機FMRaのお話です。 FMRaで測定し解析できるための条件は幾つかあります。 その中の2つを紹介します。 まず、1つ目 CCDの横分解能です。 CCDの横分解能は、使用するレンズによって決まります。 弊社でご紹介している装置につけられる50倍レンズでは、 視野が0.2mmであるので、 1ピクセルあたり0.2umとなります。 従って、0.2umより小さい形状は平均化されます。 2つ目は回折限界です。 50倍レンズを使うとすると、 レンズの回折限界はレーリーの式で算出できます。   r = k*λ/NA であるので、   k : 0.61(定数)   NA: 0.55(50倍レンズ)   λ: 約0.5um(白色光の平均波長0.38~0.77umの間) とすると、   r = 0.671um となります。 この r とは、2つの像が2つの像として見分けられる最小距離です。 従って、2つの像がそれだけ離れていないと、 2つとして認識できないのです。 もし、ある一定の間隔でパターンなどが形成されているものであれば、 最低でも 0.671um の間隔でないと形状の見分けがつかず、 ぼやぁっとした形状になってしまいます。 もし100倍対物レンズを使ったとしても、 NA:0.9 で r=0.33 にしかなりません。 横分解能は向上しますが、測定視野が50倍の 1/4 となり、 横分解能とフィールドサイズはトレードオフの関係になります。 もし、測定したいもの、観察したいものがあれば、ぜひ弊社まで ご連絡ください!!!お待ちしております。 今年2016年も弊社メールマガジンを読んでいただき誠にありがとう ございます。来年2017年も引き続き宜しくおねがいします。 それではまた来月。 ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

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