連載「知って得する干渉計測定技術!」

◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ MSPでの透明品測定 発行:エスオーエル株式会社 http://www.sol-j.co.jp/ 連載「知って得する干渉計測定技術!」 2016年9月28日号 VOL.116 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 無料にてメールマガジンを配信いたしております。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ 皆様こんにちは、営業技術グループの並木です。 9月も末になりましたが、相変わらず暑い日が続いていますね(汗) 天気も良いのに。。。洗濯機壊れました。まだ、5年しか使って いません。10日間、洗濯機がない生活をしました。洗濯物が溜まる につれてイライラも増えるという、辛い日を送りました。 最近のドラム式洗濯機は高価なものだと18万します。 かっかえないですよ。18万。。。 10日間待ち、サービスマンに来てもらい修理してもらいました。 よかったです!!!洗濯機の素晴らしさを感じた9月でした。 それでは今週のメルマガです。 今回のテーマはMSPでの透明品測定です。 MSPで透明品をセットすると、フリンジ(干渉縞)が3つでてきます。 見た目には2つです。 1つ目は、1次フリンジ=表面の平面度 2つ目は、2次フリンジ=厚みムラ、厚み 3つ目は、3次フリンジ=裏面の平面度 1回の測定で上記3つのデータを得ることができます。 サンプルに照射するレーザーの波長を変えていくと、フリンジが 流れていきます。測定が終わるまでに各フリンジがどれぐらい 動いたか、装置が解析します。 解析すると、周波数帯が3つ出てきます。 どのフリンジがどの周波数帯かを確認するためには、サンプルと 参照平面のGap(間隔)を広げるもしくは狭めることにより、1次 フリンジと3次フリンジの周波数帯が移動します。2次フリンジは サンプルの表面から反射した光とサンプルの表面から反射した光 での干渉縞なので、Gapを変化させても周波数帯は移動しません。 2次フリンジにて正確な厚みムラや厚みを出力するためには、より 正確な屈折率が必要です。屈折率の値によって厚みムラや厚みは 変動してしまいます。 例えば、鏡面仕上げのある基板t=約130umのサンプルを測定したと します。 n=1.50の時に厚みが134.5umに対して、n=1.55の時には厚みが 129.9umと出力されます。屈折率が0.05異なるだけで、約4um分、 数値が変わってしまいます。 従って、2次フリンジ解析で厚みや厚みムラを解析するのであれば、 屈折率はとっても大切になってくるのです。 MSP、奥が深いですね。。。 1回の測定で、両面の平面度と厚み、厚みムラが測定できれば、 時間の短縮化になりますので、コストも下がります。 こんなサンプルなんだけど、測定してみたい! というような要望があれば、エスオーエルにご連絡ください♪ 本日はここまで!!! いつも最後まで弊社メールマガジンを読んでくださった方々 本当にありがとうございます! 以上、営業技術の並木でしたm(_ _)m     ●また来月● ●┳┳┳●━━━━ 連 絡 先 ━━━━━━━━━━━━━ ┣╋╋○ エスオーエル株式会社 ( SOL ) ┣╋○ 〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1 ┣○ Tel: 048-441-1133 Fax: 048-445-1678 ● Email: sales@sol-j.co.jp Web: http://www.sol-j.co.jp    --デモ測定を承ります-- 詳細は上記Webサイトまで

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